华虹集成电路(成都)有限公司陈莉娜获国家专利权
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龙图腾网获悉华虹集成电路(成都)有限公司申请的专利多腔泵和真空泵设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224149779U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520926361.2,技术领域涉及:F04C18/12;该实用新型多腔泵和真空泵设备是由陈莉娜设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本多腔泵和真空泵设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种多腔泵和真空泵设备;所述多腔泵内沿转轴依次设有尾端油腔、第一定子板、制程腔、第二定子板和齿轮油腔;第一定子板和转轴之间设有第一密封装置;第二定子板和转轴之间设有第二密封装置;第一定子板上设有第一接口;多腔泵内还设有第一气路;第一气路连通第一接口和尾端油腔;所述真空泵设备包括两个多腔泵;一个多腔泵为增压泵,另一个多腔泵为真空泵;两个多腔泵的第一接口均外接氮气管路。本实用新型可实现增压泵和真空泵内油腔氮气吹扫,提高气密性,改善油腔和制程腔之间的压力差。
本实用新型多腔泵和真空泵设备在权利要求书中公布了:1.一种多腔泵,其特征在于,所述多腔泵内沿转轴依次设有尾端油腔、第一定子板、制程腔、第二定子板和齿轮油腔;所述第一定子板和所述转轴之间设有第一密封装置;所述第二定子板和所述转轴之间设有第二密封装置;所述第一定子板上设有第一接口,所述第一接口用于外接氮气管路;所述多腔泵内还设有第一气路;所述第一气路连通所述第一接口和所述尾端油腔。
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