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龙图腾网获悉上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种顶针组件及等离子体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121729039B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610226480.6，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种顶针组件及等离子体处理设备是由王培栋;徐承权;方猛;王东泽;罗来良设计研发完成，并于2026-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种顶针组件及等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆处理设备技术领域，尤其涉及一种顶针组件及等离子体处理设备，包括固定基座、支撑套管、顶针本体和卡接组件，固定基座设于工艺腔体的内壁上，所述固定基座从所述固定基座的顶部向底部并沿轴向凹陷有一安装槽；支撑套管同轴设于所述安装槽内；顶针本体，至少部分同轴设于所述安装槽和所述支撑套管内，且所述顶针本体从其外侧壁向中轴线的方向凹陷有卡接槽；卡接组件包括沿径向设置并连接在所述支撑套管的内侧壁上的第一弹性件和卡接凸起；本发明非螺纹的连接方式，有效避免了反复旋拧导致的螺纹滑丝问题，确保了顶针能够精确复位至预设位置。

本发明授权一种顶针组件及等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种顶针组件，其特征在于，包括： 固定基座，设于工艺腔体的内壁上，所述固定基座从所述固定基座的顶部向底部并沿轴向凹陷有一安装槽； 支撑套管，同轴设于所述安装槽内； 顶针本体，至少部分同轴设于所述安装槽和所述支撑套管内，且所述顶针本体从其外侧壁向中轴线的方向凹陷有卡接槽； 卡接组件，设于所述支撑套管内，所述卡接组件包括沿径向设置并连接在所述支撑套管的内侧壁上的第一弹性件，以及与所述第一弹性件的自由端连接的卡接凸起，所述顶针本体安装于所述支撑套管的过程包括所述卡接槽与所述卡接凸起错位时的第一阶段，在该阶段中所述卡接凸起受所述顶针本体的外侧壁挤压向远离所述支撑套管的中轴线运动，所述第一弹性件被压缩，以及所述卡接槽与所述卡接凸起正对时的第二阶段，在该阶段中所述卡接凸起失去所述顶针本体的外侧壁的挤压，所述第一弹性件复位使所述卡接凸起进入到所述卡接槽内以通过抵触卡接固定所述顶针本体； 抵触盘，沿所述安装槽的轴向滑动设置于所述安装槽内，且与所述支撑套管的底端抵接设置，所述安装槽的槽底壁同轴设置有螺纹孔；调节螺杆，其同轴转动设置在所述抵触盘上，并通过螺纹配合插设于所述螺纹孔内。

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