苏州莱尔微波技术有限公司王倩获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州莱尔微波技术有限公司申请的专利一种W波段的宽频RF MEMS多刀多掷开关获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121687783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610196419.1,技术领域涉及:H01H59/00;该发明授权一种W波段的宽频RF MEMS多刀多掷开关是由王倩;秦瑶;彭帅设计研发完成,并于2026-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种W波段的宽频RF MEMS多刀多掷开关在说明书摘要公布了:本申请涉及射频微波器件技术领域,尤其是涉及一种W波段的宽频RFMEMS多刀多掷开关,其包括硅基底、多个输入输出端口以及MEMS悬臂梁开关单元,MEMS悬臂梁开关单元配置有驱动电极,通过向驱动电极施加电压,可控制对应输入端口与输出端口之间射频信号路径的连通与断开。本申请通过静电驱动控制悬臂梁形变,实现射频信号路径的通断,这种驱动方式具有低功耗、速度快、易于集成的优点,相较于常见的单刀结构,能够在一个紧凑的单元内实现更复杂的信号路由,提高了系统集成度和功能灵活性,通过水平摆动式结构和垂直升降式结构,利用槽结构实现无干扰交叉,显著降低了高频寄生效应,该开关在W波段内确保了毫米波信号的传输质量。
本发明授权一种W波段的宽频RF MEMS多刀多掷开关在权利要求书中公布了:1.一种W波段的宽频RFMEMS多刀多掷开关,包括硅基底1、多个输入输出端口以及MEMS悬臂梁开关单元,其特征在于,所述MEMS悬臂梁开关单元配置有驱动电极,通过向所述驱动电极施加电压,可控制对应输入端口与输出端口之间射频信号路径的连通与断开; 所述MEMS悬臂梁开关单元设置为水平摆动式悬臂梁开关结构,该结构包括四个所述输入输出端口和四个所述MEMS悬臂梁开关单元,构成双刀双掷开关架构;四个所述输入输出端口分别为端口一2、端口二3、端口三4和端口四5;四个所述MEMS悬臂梁开关单元的驱动电极分别为电极一6、电极二7、电极三8和电极四9; 四个所述输入输出端口以及所述驱动电极均设置在所述硅基底1顶部,所述水平摆动式悬臂梁结构包括悬臂梁一14、悬臂梁二17、悬臂梁三16和悬臂梁四15,其中:所述端口一2上且位于所述电极一6上方设有悬臂梁一14,所述悬臂梁一14的端部跨过所述电极一6并延伸至所述端口三4上方;所述端口四5上且位于所述电极二7上方设有悬臂梁二17,所述悬臂梁二17的端部跨过所述电极二7并延伸至所述端口二3上方;所述端口一2上且位于所述电极四9上方设有悬臂梁三16,所述悬臂梁三16的端部跨过所电极四9并延伸至所述端口四5上方;所述端口三4上且位于所述电极三8上方设有悬臂梁四15,所述悬臂梁四15的端部跨过所述电极三8并延伸至所述端口二3上方; 所述开关的通路控制逻辑为:控制电极一6通电,实现端口一2与端口三4的导通;控制电极二7通电,实现端口四5与端口二3的导通;控制电极三8通电,实现端口三4与端口二3的导通;控制电极四9通电,实现端口一2与端口四5的导通。
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