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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121416388B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512032328.2，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统是由郭可升;罗爱鑫;陈欣环;刘乔;胡强设计研发完成，并于2025-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统在说明书摘要公布了：本申请属于远程等离子体源技术领域，公开了一种基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统，包括远程等离子体源及其气体入口处的紫外光预离化装置；紫外光预离化装置包括：壳体，具有由透光隔板分隔的气体流道和密封气腔，密封气腔内填充有氙气，气体流道连通远程等离子体源的气体入口，并用于供工艺气体流通；正电极板和负电极板，设置在壳体的相对两侧并用于在通入交流电压时激发所述氙气产生172nm紫外光；该紫外光能够穿过透光隔板进入气体流道；网状电极，设置在气体流道内，并用于在通电时与该紫外光配合对工艺气体进行预离化处理；具有高效实现高阻抗气体的等离子体启辉，提高启辉成功率和工艺稳定性，同时避免污染的优点。

本发明授权基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统在权利要求书中公布了：1.一种基于172nm紫外光辅助启辉的远程等离子体源系统，其特征在于，包括远程等离子体源100和设置在所述远程等离子体源100的气体入口处的紫外光预离化装置200； 所述紫外光预离化装置200包括： 壳体1，具有由透光隔板101分隔的气体流道102和密封气腔103，所述密封气腔103内填充有氙气，所述气体流道102连通所述远程等离子体源100的气体入口，并用于供工艺气体流通； 正电极板2和负电极板3，设置在所述壳体1的相对两侧，所述密封气腔103位于所述正电极板2和所述负电极板3之间；正电极板2和负电极板3用于在通入交流电压时激发所述氙气产生172nm紫外光；所述172nm紫外光能够穿过所述透光隔板101进入所述气体流道102； 网状电极4，设置在所述气体流道102的内侧，并用于在通电时与所述172nm紫外光配合对所述工艺气体进行预离化处理； 所述密封气腔103除所述透光隔板101以外的内壁上设置有反射层5，所述反射层5用于把所述172nm紫外光反射到所述气体流道102； 所述反射层5为由多个SiO2层和多个Al2O3层交替叠合而成的交替叠层反射结构，每个所述SiO2层的厚度为10nm-50nm，每个所述Al2O3层的厚度为20nm-100nm，SiO2层和Al2O3层的层数之和为4层-10层； 所述壳体1为石英材质，所述透光隔板101为与所述壳体1一体设置的石英隔板，所述反射层5中与所述密封气腔103的内壁连接的一层为SiO2层。

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