中山大学·深圳;中山大学高平奇获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学·深圳;中山大学申请的专利一种高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224139419U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521037827.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置是由高平奇;王和鹏;胡粤成;罗余庆;陈华辉;谢江生设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置，该高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置的一表面设有多个储酸槽，多个储酸槽相互分离布置，多个储酸槽的槽口外周缘处均设有硅片限位卡槽，多个硅片限位卡槽的外缘均设有取片凹口；上述方案不仅可以同时刻蚀多个同尺寸的硅片，而且还可以独立加入不同类型或浓度的酸溶液，满足同时进行个性化的酸蒸汽刻蚀实验，实现多变量并行实验，刻蚀效率提升至传统单槽装置的多倍，同时通过低重心设计提升操作安全性，另外个性化的储酸槽设计，增加了酸刻蚀硅片的实验效率，降低人力成本。
本实用新型一种高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置在权利要求书中公布了：1.一种高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置，其特征在于， 所述高效蒸汽单面刻蚀硅反应装置的一表面设有多个储酸槽，多个所述储酸槽相互分离布置，多个所述储酸槽的槽口外周缘处均设有硅片限位卡槽，多个所述硅片限位卡槽的外缘均设有取片凹口。
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