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龙图腾网获悉冠礼控制科技(上海)有限公司申请的专利一种半导体清洗设备化学品定量供给装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121192026B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511535968.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种半导体清洗设备化学品定量供给装置是由孙晓琦;赵龙山;张志华;丁孟;曾祥瑞设计研发完成，并于2025-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体清洗设备化学品定量供给装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，且公开了一种半导体清洗设备化学品定量供给装置，包括清洗机主体，所述清洗机主体的一侧固定连接有控制面板。本发明通过转动转动杆，驱动与其啮合的滑块沿定量槽内壁精准位移，从而实现对于密封活塞对于定量槽内部空间的压缩，以达到对于定量槽槽体空间的精确调节，与此同时通过第一导流管向定量槽内部供给合成清洁液所需要的化学原液，随着液位不断升高，浮球受到液体浮力的作用不断上升后通过一系列传动使L形连接杆的倾斜边缘与压力传感单元实现精准抵接，从而使第二控制阀开启，在压差作用下，定量槽内的精确配比液体经第二导流管平稳注入混合仓，完成不同组分的高效均质化混合。

本发明授权一种半导体清洗设备化学品定量供给装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备化学品定量供给装置，包括清洗机主体1，其特征在于，所述清洗机主体1的一侧固定连接有控制面板2，所述控制面板2的一侧设置有观察窗3，所述观察窗3活动套接于清洗机主体1的内部，所述清洗机主体1的内部开设有安装槽5，所述安装槽5的内部设置有移动组件； 所述清洗机主体1的内部固定连接有定量块12，所述定量块12的内部设置有调节组件； 所述定量块12的底部固定连接有第二导流管20，所述第二导流管20的一侧设置有定量组件； 所述清洗机主体1的内部固定连接有混合仓21，所述混合仓21的内部设置有输送组件； 所述清洗机主体1的内部设置有循环组件； 所述移动组件包括支撑板6，所述支撑板6顶部的两侧均固定连接有放置框7，所述支撑板6的两侧均固定连接有第一导轨8，所述第一导轨8与清洗机主体1固定连接，所述支撑板6滑动连接于第一导轨8的内部，所述清洗机主体1内部的两侧均开设有清洁仓10，所述清洁仓10的一侧开设有沥水仓11，所述清洁仓10中部的两侧均固定连接有第二导轨9，所述第二导轨9与清洗机主体1固定连接，所述第二导轨9与第一导轨8呈垂直设置； 所述调节组件包括定量槽13，所述定量槽13开设于定量块12的内部，所述定量块12的内部活动套接有螺纹杆14，所述螺纹杆14的一端固定连接有转动杆15，所述螺纹杆14的外侧螺纹连接有啮合块16，所述啮合块16的外侧固定连接有密封活塞17，所述密封活塞17活动套接于定量槽13的内部； 所述定量组件包括固定块18，所述固定块18固定连接于清洗机主体1的一侧，所述固定块18的内部固定连接有第一导流管19，所述第一导流管19与定量块12固定连接，所述第一导流管19与定量槽13相连通使化学品溶液等液体可以通过第一导流管19导入至定量槽13的内部； 所述定量组件包括多组浮球22，多组所述浮球22均设置于螺纹杆14的两侧，所述浮球22的底部固定连接有Y形连接杆23，所述Y形连接杆23与定量块12活动套接，所述Y形连接杆23的底部固定连接有L形连接杆24，所述L形连接杆24的底部固定连接有第一连接柱25，所述第一连接柱25的底部固定连接有铰接块26，所述铰接块26的一侧固定连接有第二连接柱27的一端，所述第二连接柱27的另一端铰接有第三连接柱28，所述第三连接柱28的底部固定连接于弹簧29的一端，所述弹簧29的另一端与清洗机主体1固定连接，所述第二导流管20的内部活动铰接有阻流板42，所述第三连接柱28的一端与阻流板42的底部相抵接，所述阻流板42的直径小于第二导流管20的直径，所述阻流板42的外侧固定套接有密封软胶套； 所述定量组件还包括连接块30，所述连接块30固定连接于第二导流管20的一侧，所述连接块30底部的一侧固定连接有压力感应块31，所述连接块30与L形连接杆24的宽度相等，所述连接块30与L形连接杆24设置于同一轴线上，所述第三连接柱28活动套接于第二导流管20的内部，所述第二导流管20与第一导流管19的内部均固定连接有第二控制阀43，所述第二导流管20内部的第二控制阀43与压力感应块31电性连接。

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