广州市尤特新材料有限公司周志宏获国家专利权
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龙图腾网获悉广州市尤特新材料有限公司申请的专利一种旋转锌靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121087433B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511515512.6，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种旋转锌靶材及其制备方法和应用是由周志宏;杨永添;周昭寅设计研发完成，并于2025-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转锌靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于旋转锌靶材技术领域，公开一种旋转锌靶材及其制备方法和应用，所述旋转锌靶材，包括锌主体层1和设置在锌主体层1内侧的内衬管2，锌主体层1设有锌工作表层12和Ni‑Cu合金过渡底层11，所述锌工作表层12为超细晶纯锌表面层12，其和Ni‑Cu合金过渡底层11之间设有Zn‑Ti合金中间层13。Zn‑Ti合金中间层13可有效阻止表层Zn原子向下扩散。Zn‑Ti能形成结构致密的金属间化合物如TiZn2、TiZn3、Ti2Zn11等，Zn‑Ti合金中间层13分别与所述界面是无空隙、无疏松缺陷的冶金结合，有效阻止表层Zn原子扩散。超细晶纯锌表面层12的晶粒尺寸细小，并且Zn‑Ti合金中间层13与表面层形成的和与底层形成的界面晶粒皆尺寸细小，能够有效分散应力，所得沉积薄膜组分均匀致密，使用寿命长。
本发明授权一种旋转锌靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种旋转锌靶材，包括锌主体层和设置在锌主体层内侧的内衬管，锌主体层设有锌工作表层和Ni-Cu合金过渡底层，其特征在于，所述锌工作表层为超细晶纯锌表面层，超细晶纯锌表面层和Ni-Cu合金过渡底层之间设有Zn-Ti合金中间层；所述超细晶纯锌表面层的晶粒尺寸为0.5~1μm。
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