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龙图腾网获悉无锡永井电子有限公司申请的专利一种半导体晶圆夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121035043B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511183937.1，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种半导体晶圆夹具是由金永春;申东珍设计研发完成，并于2025-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆夹具在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体晶圆夹具，涉及晶圆夹具技术领域，包括摆臂组件；该摆臂组件包括罩壳；罩壳内部安装有第一带轮和第二带轮；第二带轮的转轴与载板安装；载板上固定安装有定位组件和夹持组件；夹持组件位于定位组件的内部；夹持组件包括伯努利吸盘；该伯努利吸盘的底部通过撑杆与移动板固定安装；移动板与丝杆螺纹连接；丝杆远离移动板的一端均配合安装有链轮；多个所述的链轮之间通过链条连接；通过调节组件实现将摆臂组件端部壳体内的定位组件和夹持组件移动到晶圆的底部，通过气管实现伯努利吸盘对晶圆的吸附夹持，有效的减少对晶圆损耗，通过调节组件还可以实现对摆臂组件另一端吸附的晶圆的位置进行有效的移动。

本发明授权一种半导体晶圆夹具在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆夹具，其特征在于：包括摆臂组件；该摆臂组件包括罩壳；所述的罩壳内部两端通过转轴配合安装有第一带轮和第二带轮；其中第一带轮和第二带轮之间通过皮带连接；其中；所述的第二带轮的转轴还与载板固定安装；所述的载板上固定安装有定位组件和夹持组件；其中；所述的夹持组件位于定位组件的内部； 其中，所述的夹持组件包括伯努利吸盘；该伯努利吸盘的底部通过撑杆与移动板固定安装；所述的移动板的四角均与丝杆螺纹连接；多个所述的丝杆远离移动板的一端均配合安装有链轮；多个所述的链轮之间通过链条配合连接； 所述的移动板的两端底部均固定安装有呈对称的斜块；该斜块与定位组件中的滑板配合；所述的定位组件还包括旋转架；所述的旋转架顶部固定安装有两组呈对称的滑轨；每组滑轨均与滑板的底部滑动安装；所述的滑板上还通过立杆固定安装有呈对称的弧形板； 所述的滑板的一侧底部呈斜面设置；所述的滑板与滑轨上均固定安装有耳板，两个耳板之间活动安装有滑杆；所述的滑杆上套设有弹簧； 所述的旋转架底部活动安装在滑环内部，该滑环呈U型；所述的滑环底部通过多个撑杆与壳体的底部固定安装；所述的滑环外壁上设置有齿牙； 所述的夹持组件还包括固定板；所述的丝杆通过带座轴承配合安装在固定板上；所述的固定板底部通过支撑杆与壳体的内壁固定安装； 所述的第二带轮的转轴底部与调节组件配合安装；所述的调节组件包括固定壳；该固定壳顶部通过轴承活动安装有旋转板；该旋转板中心通过轴承活动安装有安装台；该安装台远离旋转板的一端同轴设置有从动齿带轮；该从动齿带轮通过齿带与主动齿带轮配合连接；所述的主动齿带轮通过转轴与固定壳的内壁活动安装；所述的旋转板与罩壳的底部固定安装。

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