江苏君格志成科技有限公司;无锡市君格之辉高端装备有限公司;江苏超纯半导体材料有限公司张军彦获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏君格志成科技有限公司;无锡市君格之辉高端装备有限公司;江苏超纯半导体材料有限公司申请的专利碳化硅原料合成炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121025790B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511554055.1,技术领域涉及:F27B14/02;该发明授权碳化硅原料合成炉是由张军彦;周社柱;冯光志;张慧勇;李清冰设计研发完成,并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅原料合成炉在说明书摘要公布了:本发明提供碳化硅原料合成炉,属于碳化硅合成技术领域,该碳化硅原料合成炉包括本体和位于本体内部的坩埚,所述本体的内部设有竖直设置的立柱,立柱内同轴设置有转轴,转轴能够在立柱内转动,转轴上设置有端面齿轮,端面齿轮上啮合有第三齿轮,第三齿轮上设置有横柱,横柱垂直于转轴设置,横柱远离转轴的一端设置有固定件,固定件用于对坩埚进行固定,本体上设置有驱动转轴进行正反转的驱动结构;通过第一传动结构能够使坩埚进行反复的摆动操作,从而可以对坩埚内的原料进行翻动,使得原料受热更加均匀。
本发明授权碳化硅原料合成炉在权利要求书中公布了:1.碳化硅原料合成炉,包括:本体1和位于本体1内部的坩埚6,其特征在于,所述本体1的内部有呈竖直设置的立柱22,立柱22内同轴设置有转轴41,转轴41能够在立柱22内转动,转轴41上设置有端面齿轮43,端面齿轮43上啮合有第三齿轮44,第三齿轮44上设置有横柱24,横柱24垂直于转轴41设置,横柱24远离转轴41的一端设置有固定件25,固定件25用于对坩埚6进行固定,本体1上设置有驱动转轴41进行正反转的驱动结构3; 所述固定件25包括固定在横柱24一端的固定环251,固定环251的内部转动设置有转动环252,坩埚6能够安装在转动环252上; 所述立柱22上设置有托板23,托板23位于横柱24的下方,托板23远离立柱22的一侧设置有第一棘齿51,转动环252上设置有与第一棘齿51相啮合的第二棘齿52,横柱24能够带动转动环252进行伸缩; 所述横柱24包括套筒241和滑柱242,固定环251设置在滑柱242的一端,套筒241的内部设置有滑腔243,滑腔243的内壁与滑柱242之间具有间隙245,且开口处与滑柱242滑动密封设置,滑柱242位于滑腔243的内部滑动密封设置有活塞244; 所述驱动结构3包括设置在本体1底部的正反转电机31,正反转电机31的输出端延伸至本体1的内部,并连接有第一齿轮32,第一齿轮32啮合有第二齿轮33,第二齿轮33上设置有延伸至内胆12内部的卡柱34,卡柱34能够与转轴41相连接; 本体1内设置有内胆12,内胆12的外部设置有加热元件14,内胆12的内部可拆卸设置有底座21,立柱22安装在底座21上转轴41上设置有与卡柱34适配的卡槽42,当对立柱22安装在内胆12内时,通过底座21的定位能够使卡柱34卡入卡槽42内部。
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