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龙图腾网获悉北方工业大学申请的专利一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915 MHz MPCVD装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120844062B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511051675.3，技术领域涉及：C23C16/511；该发明授权一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915 MHz MPCVD装置是由安康;吴海平;吴靖雯;林思羽;冯小苒设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915 MHz MPCVD装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915MHzMPCVD装置，涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域。装置包括壳体，壳体内设有空腔，壳体的顶部设有微波入口，壳体的空腔内安装有同轴天线，同轴天线上设有进气口，壳体的底部设有出气口和衬底，进气口、出气口连通空腔；壳体的内壁布置有多个微波介质窗口。本发明通过设置多个微波介质窗口，微波传输路径长度和相位发生改变，使两个微波电场区域连接为一体，并激发等离子体，形成的等离子体区位于衬底上。本装置通过对谐振腔结构、微波介质形状及位置的设计，在衬底上产生连续的直径16英寸的TM02微波电场，激发大尺寸等离子体区域，实现了16英寸金刚石晶圆沉积。

本发明授权一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915 MHz MPCVD装置在权利要求书中公布了：1.一种用于16英寸金刚石晶圆沉积的915MHzMPCVD装置，其特征在于，包括壳体，所述壳体内设有空腔，所述壳体的空腔内安装有同轴天线，所述同轴天线上设有进气口，所述壳体的底部设有出气口，所述进气口、所述出气口连通所述空腔，所述壳体的底部位于所述空腔内设有衬底，激发等离子体所形成的等离子体区位于所述衬底上； 所述壳体的内壁布置有多个微波介质窗口，多个所述微波介质窗口将所述空腔分隔为多个谐振腔，所述多个微波介质窗口的纵截面形状中至多有一个是矩形； 所述壳体包括凸出部，在所述凸出部内安装有第二微波介质窗口，在所述第二微波介质窗口内安装有同轴天线顶段，在同轴天线中段的上表面与所述壳体的内壁之间安装有第三微波介质窗口，在同轴天线中段的底面与所述壳体的内壁之间安装有第一微波介质窗口； 所述第三微波介质窗口、所述第一微波介质窗口、所述同轴天线中段、所述壳体的内壁之间形成封闭的第三谐振腔，所述同轴天线中段的底面、所述同轴天线底段的侧面、所述壳体的内壁之间形成第二谐振腔，所述同轴天线底段的底面、所述壳体的内壁之间形成第一谐振腔，所述第一谐振腔与所述第二谐振腔连通； 所述第一谐振腔内产生TM02模式微波电场，微波电场包含中心的半球形微波电场和环形微波电场，两微波电场区域连接并激发等离子体，形成等离子体区。

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