北京大学彭梓洋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种超薄纳米薄膜指向性和厚度测量的监控装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120120970B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311673921.X，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种超薄纳米薄膜指向性和厚度测量的监控装置及方法是由彭梓洋;曹正轩;刘璇;马文君设计研发完成，并于2023-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超薄纳米薄膜指向性和厚度测量的监控装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超薄纳米薄膜指向性和厚度测量的监控装置，形成以下光路：入射光路，由S偏振光源发出S偏振光，经过非偏振分束立方分为两束S偏振光，一束进入第一相机，另一束进入偏振分束立方，入射的S偏振光透射偏振分束立方后经过四分之一波片，形成圆偏振光，圆偏振光入射薄膜；反射光路，入射光在薄膜处形成反射光，反射光经过四分之一波片后形成P偏振光，P偏振光入射偏振分束立方，由偏振分束立方将P偏振光反射至第二相机；透射光路，入射光在薄膜处形成透射光，透射光进入第三相机。本发明公开的超薄纳米薄膜指向性和厚度测量的监控装置，通过一个系统，实现指向性、局部膜面平整度精确调控和超薄厚度测量。
本发明授权一种超薄纳米薄膜指向性和厚度测量的监控装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种超薄纳米薄膜指向性和厚度测量的监控装置，其特征在于，在薄膜1前端设置有S偏振光源、非偏振分束立方3、偏振分束立方4、四分之一波片5、第一相机61、第二相机62，进而形成以下光路： 入射光路，由S偏振光源发出S偏振光，经过非偏振分束立方3分为两束S偏振光，一束进入第一相机61，另一束进入偏振分束立方4，入射的S偏振光透射偏振分束立方4后经过四分之一波片5，形成圆偏振光，圆偏振光入射薄膜1； 反射光路，入射薄膜1的圆偏振光，在薄膜1处形成反射光，反射光经过四分之一波片5后形成P偏振光，P偏振光入射偏振分束立方4，由偏振分束立方4将P偏振光反射至第二相机62。
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