中山智隆新材料科技有限公司陈露获国家专利权
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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种适用于RPD的IO靶材及其制备方法和应用、异质结电池获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119707451B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411704627.5,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种适用于RPD的IO靶材及其制备方法和应用、异质结电池是由陈露;葛春桥;梁齐莹;高钰航;罗泽宇设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于RPD的IO靶材及其制备方法和应用、异质结电池在说明书摘要公布了:本发明属于光伏电池技术领域,提供了一种适用于RPD的IO靶材及其制备方法和应用、异质结电池。本发明先取氧化铟粉体进行第一研磨,然后添加第一粘结剂,制得第一混合粉体;经过第一成型和静压,制得第一靶材素坯,再进行脱脂和在1400‑1500℃预烧结8‑10h,得到预烧IO坯体,粉碎后,再次进行研磨,添加第二粘结剂,干燥后得到第二混合粉体,再次成型和静压后,得到第二靶材素坯,最后进行脱脂和分阶段的真空热压烧结,制得IO靶材。本发明所制得的纯IO靶材,相对密度在60%左右,可直接用于RPD镀膜,沉积的TCO薄膜,载流子浓度低,迁移率高,透光率高,用于异质结电池器件上,有助于提高电池的光电转化效率。
本发明授权一种适用于RPD的IO靶材及其制备方法和应用、异质结电池在权利要求书中公布了:1.一种IO靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: 1取氧化铟粉体; 2将所述氧化铟粉体进行第一研磨,然后添加第一粘结剂,过滤,再干燥,制得第一混合粉体; 3将所述第一混合粉体进行第一成型,制得第一靶材素坯; 4将所述第一靶材素胚进行第一脱脂,然后进行预烧结,制得所述预烧IO坯体; 5将所述预烧IO坯体破碎成粉末,然后进行第二研磨,再添加第二粘结剂,过滤,接着进行干燥,制得所述第二混合粉体; 6将所述第二混合粉体进行第二成型,制得所述第二靶材素坯; 7将所述第二靶材素胚进行第二脱脂,然后进行分阶段的真空热压烧结,制得所述IO靶材;所述分阶段的真空热压烧结的步骤包括: 先抽真空至-80~-100Pa,并以1-3℃min的升温速率升至900-1000℃,并保温7-9h,保温结束后,开始加压,压力为5-10Mpa,并以0.5-2℃min的升温速率升至1100-1300℃,保温时间为6-8h,保温结束后,以0.3-1℃min的升温速率升至1500-1550℃,保温时间为10-12h,保温结束后,以1-3℃min的速率降温至室温,并恢复至常压,制得所述IO靶材; 所述IO靶材中In2O3的质量占比为100%; 步骤4中,所述预烧结的温度为1400-1500℃,和或,所述预烧结的时间为8-10h; 步骤6中,所述第二成型的压力为280-320MPa。
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