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中建材浚鑫科技有限公司吴昊获国家专利权

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龙图腾网获悉中建材浚鑫科技有限公司申请的专利一种用于硅片前处理的高效喷淋式制绒装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119677212B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411671496.5,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种用于硅片前处理的高效喷淋式制绒装置是由吴昊;曹思远;侯啸;胡燕;贾苏南设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于硅片前处理的高效喷淋式制绒装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于硅片前处理的高效喷淋式制绒装置,包括:制绒池,侧壁上设置有排流口;传输组件,包括空心的传输辊和密封套设于传输辊外的海绵套,传输辊的周向侧壁上设置有喷淋通孔;驱动组件;过滤组件,内置过滤器;输液组件,包括混合箱和输液泵,混合箱内置PH传感器。该用于硅片前处理的高效喷淋式制绒装置通过中空的传输辊由内向外朝向海绵套喷洒制绒液,由海绵套实现反应液与硅片底面的均匀接触,且避免了硅片的顶面沾染反应液,不仅如此,混合箱能够混合清水、未与硅片接触的反应液以及与硅片接触后并通过过滤后的反应液,使得输液组件能够持续输出浓度控制在恒定范围内的反应液,进一步改善制绒质量,提高制绒效率。

本发明授权一种用于硅片前处理的高效喷淋式制绒装置在权利要求书中公布了:1.一种用于硅片前处理的高效喷淋式制绒装置,其特征在于,包括: 制绒池1,所述制绒池1的顶部敞口,侧壁上设置有排流口11; 传输组件2,所述传输组件2沿所述制绒池1的长度方向水平分布于所述排流口11的侧上方,所述传输组件2包括空心且轴向平行于所述制绒池1宽度方向的传输辊21和密封套设于所述传输辊21外的海绵套22,所述传输辊21的周向侧壁上设置有与自身内腔连通且位于所述海绵套22内侧的喷淋通孔211,所述传输辊21绕自身轴心线转动于所述制绒池1内; 驱动组件3,所述驱动组件3包括驱动单元31和沿所述制绒池1长度方向分布的转盘32,所述转盘32轴心线平行于所述制绒池1宽度方向,相邻转盘32的轴心线间距小于硅片的长度尺寸,所述驱动单元31驱动所述转盘32绕自身轴心线转动,所述传输辊21包括与所述转盘32同轴心线连接的主动辊; 过滤组件4,所述过滤组件4内置过滤器42以输出洁净的回流液; 输液组件5,所述输液组件5包括混合箱51和输液泵52,所述混合箱51具有均与自身内腔连通的清水进口511、原液进口512、回流进口513和混合出口514,所述混合箱51内置PH传感器53,所述回流进口513与所述过滤组件4的输出端连通,所述混合出口514通过所述输液泵52与所述传输辊21的内腔连通,所述原液进口512用于输入反应液。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中建材浚鑫科技有限公司,其通讯地址为:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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