买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利上电极组件及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119650392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311191440.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权上电极组件及半导体工艺设备是由王家祥设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本上电极组件及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种上电极组件及半导体工艺设备，涉及半导体工艺技术领域，其中，所述上电极组件包括：中心电极、边缘电极、第一驱动装置和第二驱动装置；边缘电极套设于中心电极外，第一驱动装置与中心电极驱动连接，以驱动中心电极升降，第二驱动装置与边缘电极驱动连接，以驱动边缘电极升降。所述上电极组件具备独立调整中心电极与下电极的间距，及边缘电极与下电极的间距的功能。

本发明授权上电极组件及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种上电极组件100，其特征在于，包括：中心电极110、边缘电极120、第一驱动装置130、第二驱动装置140、基体150、进气结构160、中心调节环171、边缘调节环172、第一伸缩套管181和第二伸缩套管182； 所述边缘电极120套设于所述中心电极110外，所述第一驱动装置130与所述中心电极110驱动连接，以驱动所述中心电极110升降，所述第二驱动装置140与所述边缘电极120驱动连接，以驱动所述边缘电极120升降； 所述第一驱动装置130包括第一旋转驱动器131和第一旋转轴132，所述第一旋转驱动器131与所述第一旋转轴132驱动连接，所述第一旋转轴132沿竖直方向限位于所述基体150； 所述第二驱动装置140包括第二旋转驱动器141和第二旋转轴142，所述第二旋转驱动器141与所述第二旋转轴142驱动连接，所述第二旋转轴142沿竖直方向限位于所述基体150； 所述进气结构160在竖直方向位于所述基体150与所述中心电极110之间； 所述第一旋转轴132与所述中心调节环171螺纹连接，所述中心电极110与所述中心调节环171背离所述基体150的一侧连接，所述第一伸缩套管181套设于所述第一旋转轴132外，所述第一伸缩套管181一端与所述中心调节环171连接，另一端与所述进气结构160连接； 所述第二旋转轴142与所述边缘调节环172螺纹连接，所述边缘电极120与所述边缘调节环172背离所述基体150的一侧连接，所述第二伸缩套管182套设于所述第二旋转轴142外，所述第二伸缩套管182一端与所述边缘调节环172连接，另一端与所述进气结构160连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。