买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉张家港中贺自动化科技有限公司申请的专利一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119644677B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411911934.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统是由刘鹏设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于1:1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统，光刻系统包括扫描工作台、平面驱动机构、用于放置掩模的掩模工作台、用于放置基板的基板工作台、光学系统，且掩模工作台与基板工作台相对位置保持不变；平面驱动机构被配置为驱动框架组件在扫描工作台上作平面运动；光学系统包括照明组件和投影组件，投影组件包括两组串联的具有相同透镜布置结构的第一折反式镜组和第二折反式镜组；照明组件出射的光线依次通过掩模工作台、第一折反式镜组、第二折反式镜组后到达基板工作台，且在基板工作台上形成1:1正像投影。本发明适用于光谱i线h线g线，具有良好的复消色差效果。

本发明授权一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统在权利要求书中公布了：1.一种基于1:1正像投影成像的光刻系统，其特征在于，包括扫描工作台、平面驱动机构、框架组件、光学系统，其中，所述框架组件包括框架主体、设置在所述框架主体上部的掩模工作台、设置在所述框架主体下部的基板工作台，所述掩模工作台被配置为放置具有曝光图形和第一对准记号的掩模，所述基板工作台被配置为放置具有感光材料和第二对准记号的基板，且所述掩模工作台与基板工作台相对位置保持不变； 所述平面驱动机构被配置为驱动所述框架组件在所述扫描工作台上作平面运动； 所述光学系统包括照明组件和投影组件，所述投影组件包括两组串联的第一折反式镜组和第二折反式镜组，所述第一折反式镜组与第二折反式镜组具有相同的透镜布置结构，包括：第一反射面、第一镜组、第二镜组、第三镜组、反射镜和第二反射面，其中，所述第一镜组和第二镜组均具有正光焦度，所述第三镜组至少包含一个具有负光焦度的负透镜；来自物面的光经过所述第一反射面反射后依次经过第一镜组、第二镜组、第三镜组后到达所述反射镜，经所述反射镜反射后的光线反向依次经过第三镜组、第二镜组和第一镜组到达所述第二反射面，并经所述第二反射面反射后到达像面； 所述第一折反式镜组的物面位于所述掩模工作台处的掩模的所在位置，所述第一折反式镜组的像面与第二折反式镜组的物面重合；第二折反式镜组的像面位于所述基板工作台处的基板的所在位置；所述第一折反式镜组与第二折反式镜组构成1:1正像投影的投影组件； 所述照明组件出射的光线依次通过所述掩模工作台、第一折反式镜组、第二折反式镜组后到达所述基板工作台，且在所述基板工作台上形成1:1正像投影，所述第一对准记号与所述第二对准记号用于表征所述掩模与基板的对准。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人张家港中贺自动化科技有限公司，其通讯地址为：215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。