北京北方华创微电子装备有限公司江伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶片的传输装置、晶片的暂存机构及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626948B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411687167.X，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶片的传输装置、晶片的暂存机构及半导体工艺设备是由江伟;郑慧娜;贾士亮;闫志顺;曹景阳设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片的传输装置、晶片的暂存机构及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶片的传输装置、晶片的暂存机构及半导体工艺设备，涉及光伏、半导体领域。一种晶片的传输装置，包括：第一传输机构、多个第二传输机构、多个回传机构和第一移载机构；所述第一传输机构用于在第一方向上传输晶片；多个所述第二传输机构沿所述第一方向排布，且每个所述第二传输机构用于在第二方向上传输载有所述晶片的载板；所述第一移载机构用于将所述晶片从所述载板移载至所述第一传输机构；多个所述回传机构与多个所述第二传输机构一一对应设置，且每个所述回传机构用于将移走所述晶片的所述载板回传至所述对应的第二传输机构。本申请能够解决载板交叉污染等问题。
本发明授权晶片的传输装置、晶片的暂存机构及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶片的传输装置，其特征在于，包括：第一传输机构10、多个第二传输机构20、多个回传机构30和第一移载机构40； 所述第一传输机构10用于在第一方向上传输晶片04； 多个所述第二传输机构20沿所述第一方向排布，且每个所述第二传输机构20用于在第二方向上传输载有所述晶片04的载板03； 所述第一移载机构40用于将所述晶片04从所述载板03移载至所述第一传输机构10； 多个所述回传机构30与多个所述第二传输机构20一一对应设置，且每个所述回传机构30用于将移走所述晶片04的所述载板03回传至所述对应的第二传输机构20。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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