吉林大学王希斌获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种基于MMI结构的多通道光功率分配器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119596456B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510043652.1,技术领域涉及:G02B6/125;该发明授权一种基于MMI结构的多通道光功率分配器及其制备方法是由王希斌;宁夏;柴榕杉;李尚融;孙士杰;张大明设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MMI结构的多通道光功率分配器及其制备方法在说明书摘要公布了:一种基于MMI结构的多通道光功率分配器及其制备方法,属于平面光波导器件及其制备技术领域。从下至上依次由硅片衬底、聚合物下包层、条形结构的聚合物光波导芯层和聚合物上包层组成,条形结构的聚合物光波导芯层基于MMI结构且被包覆在聚合物上包层之中。本发明的波导型功率分配器结合了MMI光波导结构工艺容差大、尺寸小的特点,还利用了有机聚合物材料种类繁多的优势,实现了多个不同端口输入进行相同功率分配的目的;另外,采用聚合物材料制备器件的工艺相对简单,只需旋涂、光刻等常规工艺,不需要难度较高的工艺,而且生产成本低、效率高、能够大规模批量生产,是能够应用到实际当中的功率分配器。
本发明授权一种基于MMI结构的多通道光功率分配器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于MMI结构的多通道光功率分配器,其特征在于:从下至上依次由硅片衬底51、聚合物下包层52、条形结构的聚合物光波导芯层53和聚合物上包层54组成,聚合物光波导芯层53材料的折射率高于聚合物下包层52和聚合物上包层54材料的折射率,条形结构的聚合物光波导芯层53被包覆在聚合物上包层54之中;其中,条形结构的聚合物光波导芯层53基于MMI结构,从左至右沿光的传播方向依次由结构和尺寸相同的第一输入直波导1、第二输入直波导2、第三输入直波导3,结构和尺寸相同的第一S弯曲波导4和第二S弯曲波导6,第一直波导5,结构和尺寸相同的第一输入锥形波导7、第二输入锥形波导8和第三输入锥形波导9,第一多模干涉波导10,结构和尺寸相同的第一输出锥形波导11、第二输出锥形波导12和第三输出锥形波导13,尺寸和尺寸相同的第三S弯曲波导14和第四S弯曲波导16,第二直波导15,结构和尺寸相同的第三直波导17和第四直波导18,第四输入锥形波导19,第二多模干涉波导20,结构和尺寸相同的第四输出锥形波导21和第五输出锥形波导22,结构和尺寸相同的第五S弯曲波导23和第八S弯曲波导26,结构和尺寸相同的第六S弯曲波导24和第七S弯曲波导25,结构和尺寸相同的第五输入锥形波导27、第六输入锥形波导28、第七输入锥形波导29和第八输入锥形波导30,结构和尺寸相同的第三多模干涉波导31和第四多模干涉波导32,结构和尺寸相同的第六输出锥形波导33、第八输出锥形波导35、第九输出锥形波导36和第十一输出锥形波导38,结构和尺寸相同的第七输出锥形波导34和第十输出锥形波导37,结构和尺寸相同的第九S弯曲波导39、第十S弯曲波导41、第十一S弯曲波导42和第十二S弯曲波导44,结构和尺寸相同的第五直波导40和第六直波导43,结构和尺寸相同的第一输出直波导45、第二输出直波导46、第三输出直波导47、第四输出直波导48、第五输出直波导49、第六输出直波导50构成; 第一多模干涉波导10具有3个输入端和3个输出端,第一输入锥形波导7、第二输入锥形波导8和第三输入锥形波导9分别作为第一多模干涉波导10的3个输入端,第一输出锥形波导11、第二输出锥形波导12和第三输出锥形波导13分别作为第一多模干涉波导10的3个输出端;第二多模干涉波导20具有1个输入端和2个输出端,第四输入锥形波导19作为第二多模干涉波导20的1个输入端,第四输出锥形波导21和第五输出锥形波导22分别作为第二多模干涉波导20的2个输出端;第三多模干涉波导31和第四多模干涉波导32分别具有2个输入端和3个输出端;第五输入锥形波导27和第六输入锥形波导28分别作为第三多模干涉波导31的2个输入端,第七输入锥形波导29和第八输入锥形波导30分别作为第四多模干涉波导32的2个输入端,第六输出锥形波导33、第七输出锥形波导34和第八输出锥形波导35分别作为第三多模干涉波导31的3个输出端,第九输出锥形波导36、第十输出锥形波导37和第十一输出锥形波导38分别作为第四多模干涉波导32的3个输出端;第一输入直波导1、第一S弯曲波导4和第一输入锥形波导7顺次连接,第二输入直波导2、第一直波导5和第二输入锥形波导8顺次连接,第三输入直波导3、第二S弯曲波导6和第三输入锥形波导9顺次连接;第一输出锥形波导11、第三S弯曲波导14、第三直波导17、第五S弯曲波导23、第五输入锥形波导27顺次连接,第二输出锥形波导12、第二直波导15和第四输入锥形波导19顺次连接,第四输出锥形波导21、第六S弯曲波导24和第六输入锥形波导28顺次连接,第五输出锥形波导22、第七S弯曲波导25和第七输入锥形波导29顺次连接,第三输出锥形波导13、第四S弯曲波导16、第四直波导18、第八S弯曲波导26和第八输入锥形波导30顺次连接,第六输出锥形波导33、第九S弯曲波导39、第一输出直波导45顺次连接,第七输出锥形波导34、第五直波导40和第二输出直波导46顺次连接,第八输出锥形波导35、第十S弯曲波导41和第三输出直波导47顺次连接,第九输出锥形波导36、第十一S弯曲波导42和第四输出直波导48顺次连接,第十输出锥形波导37、第六直波导43和第五输出直波导49顺次连接,第十一输出锥形波导38、第十二S弯曲波导44和第六输出直波导50顺次连接。
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