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龙图腾网获悉苏州施密科微电子设备有限公司申请的专利一种晶圆单片清洗设备气动夹爪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119501985B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411707725.4，技术领域涉及：B25J15/06；该发明授权一种晶圆单片清洗设备气动夹爪是由刘金升;马栗设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆单片清洗设备气动夹爪在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆单片清洗设备气动夹爪，包括上盖以及设置于上盖底部的壳体，且上盖与壳体之间内侧形成密封腔体，所述上盖的上端设置有出气口，所述上盖的侧面设置有进气口，所述壳体的内侧底部设置有导向柱，所述导向柱的上端外侧活动套设有活塞筒，所述活塞筒内侧竖直设置有第一弹簧，所述活塞筒的底部边缘设置倒角。该晶圆单片清洗设备气动夹爪，通过设置的进气口、出气口、固定板、立臂、限位底块、活塞筒、第一弹簧、导向柱、推杆、第二弹簧、滚轮的相互配合可以有效实现对晶圆的夹取，结构简单，制造安装方便，占用空间小，可适应不同尺寸晶圆。

本发明授权一种晶圆单片清洗设备气动夹爪在权利要求书中公布了：1.一种晶圆单片清洗设备气动夹爪，其特征在于，包括上盖1以及设置于上盖1底部的壳体4，且上盖1与壳体4之间内侧形成密封腔体，所述上盖1的上端设置有出气口3，所述上盖1的侧面设置有进气口2，所述壳体4的内侧底部设置有导向柱10，所述导向柱10的上端外侧活动套设有活塞筒8，所述活塞筒8内侧竖直设置有第一弹簧9，所述活塞筒8的底部边缘设置倒角，所述壳体4内侧的外围均匀环绕设置有可沿着壳体4径向位移的推杆13，所述推杆13靠近壳体4中心的一端转动连接有与活塞筒8底部边缘对应的滚轮19，所述推杆13外侧靠近滚轮19的一端套设有第二弹簧14，且第二弹簧14配置为当推杆13向远离壳体4中心的方向位移时可被压缩，所述推杆13远离滚轮19的一端设置有固定板5，所述固定板5底部竖直设置有立臂6，所述立臂6的底部设置有凸出与立臂6侧壁的限位底块7； 所述推杆13靠近壳体4中心的一端转动设置有销轴18，所述滚轮19设置在销轴18上； 所述导向柱10下端螺纹连接于壳体4的内侧底部中心； 所述壳体4的底部一端设置有传感器15；所述壳体4的底部设置有底盖16，所述底盖16的一端设置有与传感器15对应的传感器通槽17； 所述壳体4外围的底部均匀环绕设置有与推杆13一一对应的压块11，所述压块11底部以及壳体4顶部的对应处均设置有与推杆13适配的滑槽12，所述推杆13滑动连接于滑槽12内侧； 所述立臂6下端朝内的一侧竖直设置有第二橡胶块31； 所述活塞筒8的内侧顶部竖直设置有活塞杆20，所述导向柱10为中空结构，所述活塞杆20的下端穿过导向柱10、壳体4、底盖16延伸至底盖16的底部，且活塞杆20与导向柱10、壳体4、底盖16均为活动导向连接，所述底盖16的底部设置有与活塞杆20对应的筒体21，所述活塞杆20的底部设置有用于与筒体21内侧活动密封连接的活塞22，所述筒体21的底部外围设置有环形槽23，所述环形槽23内侧竖直活动密封连接有滑筒27，所述滑筒27的底部设置有吸盘28，所述滑筒27的顶部与环形槽23的内侧顶部之间竖直设置有第三弹簧24，所述筒体21的上端侧壁设置有与环形槽23连通的排气孔26； 所述筒体21的上端侧壁设置有与筒体21内腔连通的泄压孔25； 所述立臂6朝内的一侧上端沿着高度方向均匀活动设置有滚珠29，且第三弹簧24初始状态下时，吸盘28的底部低于最下方的滚珠29，且限位底块7的顶部低于吸盘28的底部；所述立臂6朝内的一侧下端设置有第二橡胶块31； 所述限位底块7顶部设置有弧形的第一橡胶块30。

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