恩特格里斯公司A·瓦桑塔库马尔获国家专利权
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龙图腾网获悉恩特格里斯公司申请的专利用于半导体制造工艺的清洁刷获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119137720B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380037284.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于半导体制造工艺的清洁刷是由A·瓦桑塔库马尔;T·K·佩鲁马尔;S·古达蒂;M·利维设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体制造工艺的清洁刷在说明书摘要公布了：提供一种用于半导体制造工艺的清洁刷。所述清洁刷包含芯及刷部件。所述芯包含圆周部分及闭端部分。所述圆周部分包围所述清洁刷的旋转轴线且界定用于接收流体的入口开口。所述闭端部分经连接到沿所述旋转轴线与所述入口开口相对的所述圆周部分的端。至少一个细长导管经界定于所述芯内且与所述入口开口流体连通，且所述圆周部分包含穿过其以与所述细长导管流体连通的多个出口通道，所述出口通道朝向所述闭端部分向外倾斜。所述刷部件经连接到所述圆周部分的外表面且覆盖所有所述出口通道。
本发明授权用于半导体制造工艺的清洁刷在权利要求书中公布了：1.一种清洁刷，其包括： 芯，其包括： 圆周部分，其包围所述清洁刷的旋转轴线且界定用于接收流体的入口开口；及 闭端部分，其经连接到沿所述旋转轴线与所述入口开口相对的所述圆周部分的端， 其中至少一个细长导管界定于所述芯内且与所述入口开口流体连通，且所述圆周部分包含穿过其以与所述细长导管流体连通的多个出口通道，所述出口通道朝向所述闭端部分向外倾斜；及 刷部件，其经连接到所述圆周部分的外表面且覆盖所有所述多个出口通道， 其中所述出口通道中的每一者包含： 上游区段，其经连接到所述圆周部分的内表面；及 至少一个下游区段，其将所述上游区段连接到所述圆周部分的所述外表面，其中所述上游区段相对于所述圆周部分的所述内表面倾斜且所述下游区段垂直于所述圆周部分的所述外表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩特格里斯公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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