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龙图腾网获悉南昌航空大学申请的专利一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118047628B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410062580.0，技术领域涉及：C04B41/87；该发明授权一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉是由杨会永;于海江;黄军同;王连毅;罗瑞盈;陈智;李伟;王麓焱;王德腾设计研发完成，并于2024-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉在说明书摘要公布了：一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉，包括硅晶炉本体，硅晶炉本体的热结构材料为CC复合材料，CC复合材料的表面设有材质为硅酸锆的耐硅元素腐蚀涂层，该耐硅元素腐蚀涂层通过以下方式制备：将CC复合材料放入喷砂机中，以砂粒为碳化硅颗粒、氧化铝颗粒、石英砂中的任意一种对CC复合材料表面进行喷砂处理；选取硅酸锆为造粒团聚体，在CC复合材料的表面采用大气等离子喷涂，形成耐硅元素腐蚀涂层。本发明的硅晶炉，其中作为热结构材料的CC复合材料的表面设有材质为硅酸锆的耐硅元素腐蚀涂层，使得具有良好的防硅腐蚀、防二氧化硅腐蚀和防一氧化硅腐蚀的效果，避免了热结构材料在高温条件下发生硅化反应而影响热场的稳定性，提高了硅晶炉的使用寿命。

本发明授权一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉在权利要求书中公布了：1.一种耐硅元素腐蚀的硅晶炉，包括硅晶炉本体，所述硅晶炉本体的热结构材料为CC复合材料，其特征在于，所述CC复合材料的表面设有材质为硅酸锆的耐硅元素腐蚀涂层，该耐硅元素腐蚀涂层在CC复合材料的表面通过以下方式制备： 将CC复合材料放入喷砂机中，选取碳化硅颗粒、氧化铝颗粒、石英砂中的任意一种砂粒对CC复合材料表面进行喷砂处理；然后选取造粒尺寸为400目～600目的硅酸锆为造粒团聚体，在CC复合材料的表面采用大气等离子喷涂，以在CC复合材料的表面形成能够同时抵御单质硅Si、一氧化硅SiO和二氧化硅SiO2腐蚀的、连续、均匀且致密的耐硅元素腐蚀涂层； 喷砂处理所用砂粒的粒径为50目～80目；喷砂时间为3s～8s； 在大气等离子喷涂过程，所用电流为300A～450A，所用电压为75V～90V，所用氩气流量为30Lmin～45Lmin，所用氢气流量为5Lmin～8Lmin，所用喷枪与CC复合材料的距离为10cm～15cm； 采用大气等离子喷涂的次数为1次，喷涂时间2s。

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