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龙图腾网获悉楚赟科技(绍兴)有限公司申请的专利一种气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117867473B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410101030.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种气相沉积设备是由邢志刚;刘雷;张志明;周慧娟设计研发完成，并于2024-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种气相沉积设备，包括反应腔；第一气体注入机构位于反应腔顶部的中间区域；第二气体注入机构位于反应腔顶部的外围区域并环绕第一气体注入机构设置；遮挡件环绕反应腔的内侧壁设置，遮挡件与反应腔的内侧壁、第二气体注入机构之间适配地围设成一个环形腔，第二气体注入机构向环形腔中注入吹扫气体；遮挡件与第一气体注入机构适配地围设成一个径向尺寸由上至下逐渐增大空间区域，遮挡件的最下端的外径与反应腔的内径相适配，吹扫通道分布设于遮挡件上以向空间区域导入吹扫气体。本发明提供的气相沉积设备可以提高设备生长材料的产出效率和质量，延长反应腔的维护周期。

本发明授权一种气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，其特征在于，包括： 反应腔； 第一气体注入机构位于所述反应腔顶部的中间区域，用于向所述反应腔内注入反应气体； 第二气体注入机构位于所述反应腔顶部的外围区域并环绕所述第一气体注入机构设置； 承载盘，位于所述反应腔中，与所述第一气体注入机构相对设置，在所述承载盘上方形成有一反应区； 旋转轴，与所述承载盘连接，带动所述承载盘在气相沉积期间旋转； 遮挡件，位于所述反应腔中，环绕所述反应腔的内侧壁设置，在进行气相沉积期间，所述遮挡件与所述反应腔的内侧壁、所述第二气体注入机构之间适配地围设成一个环形腔，所述第二气体注入机构向所述环形腔中注入吹扫气体；所述遮挡件与所述第一气体注入机构适配地围设成一个空间区域，所述空间区域的径向尺寸由上至下逐渐增大，所述遮挡件的最下端的外径与所述反应腔的内径相适配； 吹扫通道，分布设于所述遮挡件上，所述吹扫通道贯穿所述遮挡件，所述吹扫通道将所述环形腔和所述空间区域导通，以向所述空间区域导入吹扫气体。

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