中芯国际集成电路制造(上海)有限公司严中稳获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利光学邻近修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116954012B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210404047.9，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权光学邻近修正方法是由严中稳;罗连波;陈巧丽设计研发完成，并于2022-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学邻近修正方法在说明书摘要公布了：一种光学邻近修正方法，包括：提供初始设计版图，初始设计版图中具有参考图形以及若干主要图形，参考图形具有参考边，每个主要图形具有若干主要边；以每个主要边为基准，获取第一搜索参数以确定第一搜索区域；当参考边与任意一个第一搜索区域具有重合部时，将第一搜索区域所对应的主要边标记为待选边；以参考边为基准，根据第一搜索参数获取第二搜索参数，以确定第二搜索区域；当任意一个待选边与第二搜索区域具有重合部时，将待选边标记为选定边。通过第一搜索区域和第二搜索区域的双向选边机制进行选边操作，减少多选或者误选的情况，使得选边结果更加精确，进而提升后续光学邻近修正的效果。
本发明授权光学邻近修正方法在权利要求书中公布了：1.一种光学邻近修正方法，其特征在于，包括： 提供初始设计版图，所述初始设计版图中具有参考图形以及若干主要图形，所述参考图形具有参考边，每个所述主要图形具有若干主要边； 以每个所述主要边为基准，获取第一搜索参数以确定第一搜索区域； 当所述参考边与任意一个所述第一搜索区域具有重合部时，将所述第一搜索区域所对应的所述主要边标记为待选边； 以所述参考边为基准，根据所述第一搜索参数获取第二搜索参数，以确定第二搜索区域； 当任意一个所述待选边与所述第二搜索区域具有重合部时，即在所述参考边和所述待选边在被所述第一搜索区域和所述第二搜索区域完成互选，将所述待选边标记为选定边。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张江路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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