东南大学尹奎波获国家专利权
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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种基于MEMS热桥器件的热三级管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116692763B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310438424.5,技术领域涉及:B81B7/00;该发明授权一种基于MEMS热桥器件的热三级管是由尹奎波;何诗琪;聂萌设计研发完成,并于2023-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS热桥器件的热三级管在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于MEMS热桥器件的热三级管,其结构包括硅基底和氮化硅支撑膜,硅基底中部为中空结构,上面有源极悬空平台、漏极悬空平台、栅极悬空平台和热电偶悬空平台。源极、漏极、栅极悬空平台上面是源极热电阻温度传感器、漏极热电阻温度传感器、栅极热电阻温度传感器,用于加热和测温。热电偶悬空平台上面是一对热电偶温度传感器,用于测温,热界面材料和部分源极材料、漏极材料、栅极材料也与热电偶悬空平台上表面相接触。三极管材料由源极材料、漏极材料、栅极材料和热界面材料组成,整体呈T型摆放,其中源极材料左端与源极衬底上表面相接触,漏极材料右端与漏极衬底上表面相接触,栅极材料下端与栅极衬底上表面相接触。
本发明授权一种基于MEMS热桥器件的热三级管在权利要求书中公布了:1.一种基于MEMS热桥器件的热三极管,其特征在于:其结构包括硅基底和氮化硅支撑膜,硅基底中部为中空结构,上面有源极悬空平台、漏极悬空平台、栅极悬空平台和热电偶悬空平台;源极、漏极、栅极悬空平台上面是源极热电阻温度传感器、漏极热电阻温度传感器、栅极热电阻温度传感器,用于加热和测温;热电偶悬空平台上面是一对热电偶温度传感器,用于测温,热界面材料和部分源极材料、漏极材料、栅极材料也与热电偶悬空平台上表面相接触;三极管材料由源极材料、漏极材料、栅极材料和热界面材料组成,整体呈T型摆放,其中源极材料左端与源极衬底上表面相接触,漏极材料右端与漏极衬底上表面相接触,栅极材料下端与栅极衬底上表面相接触;热界面材料分别连接源极材料右端、漏极材料左端、栅极材料上端;热电偶温度传感器热端与热界面材料相近,用于测量此区域的温度。
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