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龙图腾网获悉北京信息科技大学申请的专利一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116625345B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310667965.5，技术领域涉及：G01C19/58；该发明授权一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺是由朴林华;马炫霖;佟嘉程设计研发完成，并于2023-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括基底层、敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有相互平行的三组加热器和两对平行的热敏电阻，在加热器和热敏电阻的下方设置有悬空的绝缘电阻桥；基底层上表面刻蚀有“工”字形腔体；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用MEMS加工工艺制作，具有体积小、成本低、可批量生产等优点。基于这些优点它可以广泛应用于电子设备、航天及医学仪器等领域。

本发明授权一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺在权利要求书中公布了：1.一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺，其特征在于，包括基底层、敏感层和盖板，其中， 所述基底层上表面刻蚀有一“工”字形腔体；所述盖板上刻蚀有凹槽，且与所述敏感层的上表面密闭连接；基底层和盖板将所述“工”字形腔体内的工作气体与外界隔离，形成敏感气体的工作空间；“工”字形腔体的高度与盖板上凹槽的深度为总的腔体高度H，50μm≤H≤300μm； 基底层的上表面设置有相互平行的三对加热器和两对呈平行排列的热敏电阻，在所述加热器和所述热敏电阻的下方设置有悬空的绝缘电阻桥；三对加热器采用交替加热和冷却，并采用异步驱动方式； 定义敏感层的上表面的与热敏电阻平行的方向为X向，与热敏电阻垂直的方向为Y向，敏感层的高度方向为Z向； 加热器和热敏电阻的放置方向均为与Y方向垂直；检测Z轴角速度的热敏电阻为四个，沿X轴方向放置，其放置方向与Y轴方向垂直；三对加热器对称放置在X轴方向上，其放置方向与Y轴方向垂直； 三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电，即加热器的一个工作周期包括脉冲电压激励时间与断电间隔时间； 每对所述加热器均由两个相同频率的方波信号驱动，相位差为90度，脉冲占空比为50%； 所述“工”字形腔体的外边沿大于上表面加热器和热敏电阻的外轮廓。

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