武汉光电工业技术研究院有限公司韩道获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉光电工业技术研究院有限公司申请的专利一种用于光学引线键合的对准系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116203683B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111455806.6,技术领域涉及:G02B6/42;该发明授权一种用于光学引线键合的对准系统及方法是由韩道;骆志军;姜瑾;孙文娟;吕威设计研发完成,并于2021-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于光学引线键合的对准系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于光学引线键合的对准系统和方法,涉及激光技术领域,本对准系统包括曝光装置和控制装置。曝光装置的第一双色镜和第二双色镜以预设角度设置,用于分别接收来自第一激光单元的第一光束和第二激光单元的第二光束,第一双色镜和第二双色镜的出射光分别通过物镜照射到位移台上形成键合光束,第一光束和第二光束叠加可以形成直径较小的键合光束。控制装置包括针尖传感器装置、位移台驱动装置和控制系统,通过针尖传感器装置、控制系统和位移台驱动装置的形成控制闭环,针对光学引线键合装置的键合位置与键合光束的坐标误差进行适时调整,增加对准系统的精度,进而提高光学引线键合的良品率。
本发明授权一种用于光学引线键合的对准系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于光学引线键合的对准系统,其特征在于,所述对准系统包括: 曝光装置,所述曝光装置包括用于提供第一光束的第一激光单元、用于提供第二光束的第二激光单元、第一双色镜、第二双色镜、物镜和位移台,所述第一双色镜和所述第二双色镜以预设角度设置,用于分别接收来自所述第一激光单元的所述第一光束和所述第二激光单元的所述第二光束,所述第一双色镜和所述第二双色镜的出射光通过所述物镜照射到所述位移台上形成键合光束,所述位移台用于放置光学引线键合装置;以及, 控制装置,所述控制装置包括: 针尖传感器装置,用于测量所述光学引线键合装置的键合位置与所述键合光束的坐标误差; 位移台驱动装置,所述位移台驱动装置用于控制所述位移台的移动和转动;以及, 控制系统,所述控制系统用于根据所述坐标误差通过控制所述位移台驱动装置调整所述位移台的坐标位置进行补偿; 其中,所述第一光束和第二光束中均为可见光,且其中一个为制造光,另一个为辅助光;通过双光束的叠加来突破光的衍射极限,使得在使用更长波长可见光光源之时,仍然光斑直径能够达到使用比365纳米波长紫外光源时更小的光斑。
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