苏州汉天下电子有限公司王矿伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汉天下电子有限公司申请的专利一种体声波谐振器的制造方法及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116155223B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211726945.2，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权一种体声波谐振器的制造方法及其应用是由王矿伟;赖志国;杨清华设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器的制造方法及其应用在说明书摘要公布了：本公开提供一种体声波谐振器的制造方法，包括：提供载体；在载体中刻蚀形成第一刻蚀部；在第一刻蚀部中依次共形沉积填充材料和下电极材料层，填充材料的厚度大于或等于体声波谐振器正常工作所需要的高度；通过平坦化工艺去除载体上表面的下电极材料层和填充材料，在第一刻蚀部空腔内形成填充层和下电极，下电极的上表面、填充层的上表面与载体的上表面处于相同的平面；在载体上形成压电层，压电层的下表面、载体的上表面、填充层的上表面以及下电极的上表面处于相同的平面；其中第一刻蚀部的高度至少大于平坦化工艺中设定的载体的过研磨量、平坦化工艺的平坦度的范围值、下电极的厚度、以及满足体声波谐振器正常工作所需要的高度的总和。
本发明授权一种体声波谐振器的制造方法及其应用在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器的制造方法，其特征在于，包括： 提供载体； 在所述载体中刻蚀形成第一刻蚀部； 在第一刻蚀部中依次共形沉积填充材料和下电极材料层，所述填充材料的厚度大于或等于所述体声波谐振器正常工作所需要的高度； 通过平坦化工艺去除所述载体上表面的所述下电极材料层和所述填充材料，在所述第一刻蚀部内形成填充层和下电极，所述下电极的上表面、所述填充层的上表面与所述载体的上表面处于相同的平面； 在所述载体上形成压电层，所述压电层的下表面、所述载体的上表面、所述填充层的上表面以及所述下电极的上表面处于相同的平面； 其中所述第一刻蚀部的高度至少大于所述平坦化工艺中设定的所述载体的过研磨量、平坦化工艺的平坦度的范围值、下电极的厚度、以及满足所述体声波谐振器正常工作所需要的高度的总和。
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