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龙图腾网获悉宁波大学申请的专利基于PZT和PU的带有功能微结构压电薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115768236B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211572567.7，技术领域涉及：H10N30/092；该发明授权基于PZT和PU的带有功能微结构压电薄膜的制备方法是由任明将;陈海荣;李勇;薛民新设计研发完成，并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于PZT和PU的带有功能微结构压电薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于PZT和PU的带有功能微结构压电薄膜的制备方法，节省大量成本，简化工艺流程，操作简单。本发明包括以下步骤：步骤一：粒子改性；步骤二：制作微结构，包括如下步骤：按照将PZT粉末加入THF有机溶剂中，再进行超声分散防止颗粒团聚；超声后加入PU后搅拌、挥发、静置；将上述溶液通过在光刻硅模具上铺膜、放入烘箱烘干，最后通过酒精进行脱模工作，得到具有功能微结构阵列的压电薄膜。

本发明授权基于PZT和PU的带有功能微结构压电薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于PZT和PU的带有功能微结构压电薄膜的制备方法，其特征在于：包括如下步骤： 步骤一：粒子改性，包括如下步骤： 1称取一定质量的PZT粉末，在110-130℃的烘干温度下烘干；粉末中，PZT粒径3μm-500nm； 2将烘干后的PZT粉末加入硅烷偶联剂和丙酮的混合溶液中； 3用超声分散混合溶液，使粒子分散充分改性；超声分散时间为10～15min，超声分散功率为100W～120W； 4对超声分散后的混合溶液，在磁力搅拌器上搅拌，搅拌温度40-60℃，搅拌转速750-850rmin，搅拌时间1h以上； 5搅拌后，静置反应0.8-1.2h，然后过滤出PZT粒子，再进行烘干，烘干温度55-65℃，烘干时间11-13h，直至烘干； 6用无水乙醇和去离子水分别清洗PZT粒子，去除多余未反应的偶联剂和丙酮；再次在110-130℃温度下烘干，等待备用； 步骤二：制作微结构，包括如下步骤： 1称取改性后的PZT粉末加入THF有机溶剂中制成混合溶液；混合溶液中PZT质量分数为60%～80%； 2用超声将混合溶液分散均匀，超声分散时间为10～15min，超声分散功率为100W～120W，得到PZT悬浊液； 3称取一定质量的PU加入PZT悬浊液中，PU：THF的质量比=1:9-11，在磁力搅拌器上充分搅拌进行溶解，搅拌转速800～1200rmin，溶解时间为48～72h，得到PZT和PU混合溶液；PZT和PU混合溶液中，PZT质量PZT+PU质量=60-80%； 4将得到的PZT和PU混合溶液挥发至PU：THF的质量比=1:8后，静置除气泡时间48～72h，产生一定粘度，再通过抽真空除去溶液中气泡，得到混合物溶液； 5将硅片模具放置于培养皿中，并用酒精清洗、烘干，烘干温度35-45℃，烘干时间15～20min；在硅片模具上喷一层特氟龙喷雾； 6将PZT和PU混合溶液缓慢倒入倾斜的培养皿内，直至溶液全部覆盖硅片模具，将培养皿反复震荡、摇晃，使溶液进入硅片模具中；将培养皿放置倾斜一定角度，静置一定时间，倾斜角度为10～20°，静置时间为0.8-1.2h； 用超声换能器辅助PZT和PU混合溶液进入硅片模具； 7将硅片模具和培养皿再放入真空箱内抽真空；灌装过程在10min内完成；取出后将硅片模具水平放置，放置时间为11-13h； 8以不同时间的温度烘干，先以35-45℃烘干24~48h，再以55-65℃烘干7~8天； 9烘干后的培养皿中倒入酒精脱模；至此完成基于PZT和PU复合材料的带有功能微结构压电薄膜的制备； 10将带有功能微结构压电薄膜在粒子溅射仪镀金电极，利用高压电源以17-22kvmm在70-90℃硅油中高压极化1.8-2.2h；带有功能微结构压电薄膜极化过后拥有压电性能。

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