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龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利基板成膜装置和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115763295B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111030961.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板成膜装置和基板处理装置是由山本晓;孙正;王宏杰;常青设计研发完成，并于2021-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板成膜装置和基板处理装置在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种基板成膜装置和基板处理装置，包括容器、开闭阀、基座、内轴、外轴和第一吹扫机构；容器开设有排气孔，容器布置有反应室和加热室；基座转动布置在反应室，基座开设有贯穿的配接孔，基座上设有载盘；内轴沿竖直轴线穿过容器的底壁并插入配接孔，载盘在圆周方向上与内轴传动连接；内轴以基座为界被分成第一插入段及第一露出段；外轴沿竖直轴线穿过容器的底壁并环绕第一露出段布置并传动连接基座；第一吹扫机构包括第一管路；载盘与基座存在载盘间隙，内轴与配接孔存在配接间隙，内轴与外轴存在外轴间隙；载盘间隙、配接间隙及外轴间隙依次连通形成第一吹气通路；第一管路连通至第一吹气通路；以降低成膜工艺的杂质比例。

本发明授权基板成膜装置和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板成膜装置，其特征在于，包括： 容器，其开设有用于排出反应气体和吹扫气体的排气孔，所述容器在竖直方向上依次布置有彼此连通的反应室和加热室； 开闭阀，其连接至所述容器以打开和关闭所述排气孔； 基座，其绕竖直轴线Z转动自由地布置在所述反应室中，所述基座的上表面沿着周向设有至少两个围绕所述竖直轴线Z布置的载盘； 内轴，其沿所述竖直轴线Z穿过所述容器的底壁并插接入所述基座中，每个所述载盘在圆周方向上与所述内轴保持传动连接； 管状的外轴，其沿所述竖直轴线Z穿过所述容器的底壁并环绕所述内轴的至少一部分布置并传动连接所述基座； 加热体，其布置于所述加热室中； 第一吹扫机构，其包括输送所述吹扫气体的第一管路； 第二吹扫机构，其包括输送所述吹扫气体的第二管路； 其中，所述载盘与所述基座之间存在载盘间隙，所述内轴与所述基座之间存在配接间隙，所述内轴与所述外轴的侧壁间存在外轴间隙；所述载盘间隙、所述配接间隙及所述外轴间隙依次连通形成第一吹气通路；所述第一管路连通至所述第一吹气通路；所述基座与所述容器的内侧壁之间存在容器间隙，所述基座的底部与所述加热体之间存在底部间隙，所述容器间隙、所述底部间隙和所述加热室依次连通形成第二吹气通路；所述第二管路连通至所述第二吹气通路。

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