广东长信精密设备有限公司杨易获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种晶圆搬运装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224124554U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520463056.4,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种晶圆搬运装置是由杨易;罗家明;汤灿东;吴伟平;邹展设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬运装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造设备领域,公开了一种晶圆搬运装置,包括搬运组件,搬运组件包括安装座,安装座内设有旋转装置、伸缩装置以及吸附装置,伸缩装置设置于旋转装置的输出端,吸附装置设置于伸缩装置的输出端,旋转装置用于调整伸缩装置的伸缩方向,伸缩装置用于驱动调整吸附装置的位置;本实用新型通过旋转装置能够调整伸缩装置的伸缩朝向,配合伸缩装置就能够使吸附装置朝向多个方向伸缩以便搬运不同的晶圆,从而更为方便快捷的搬运转移晶圆,晶圆的搬运效率更高,且在狭小的空间内通过旋转装置的转动就能够调整吸附装置的伸缩移动方向,以吸附搬运不同方向的晶圆,整个搬运过程更为灵活,能够适应狭窄空间内更为多变的晶圆搬运工作。
本实用新型一种晶圆搬运装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆搬运装置,其特征在于,包括搬运组件,所述搬运组件包括安装座,所述安装座内设有旋转装置、伸缩装置以及吸附装置,所述伸缩装置设置于所述旋转装置的输出端,所述吸附装置设置于所述伸缩装置的输出端,所述旋转装置用于调整所述伸缩装置的伸缩方向,所述伸缩装置用于驱动调整所述吸附装置的位置。
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