昆山法密尔精密机械有限公司郭卫获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山法密尔精密机械有限公司申请的专利半导体晶圆真空吸附板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124533U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520690939.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型半导体晶圆真空吸附板是由郭卫;曹恩林;林海雄设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体晶圆真空吸附板在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体晶圆真空吸附板，涉及半导体晶圆技术领域，包括外壳，外壳的内部设置有可以对晶圆进行清洁的清洁机构，所述清洁机构包括与外壳的内侧固定连接的固定板，所述固定板的上表面固定连接有第一抽泵，所述第一抽泵的进口固定连通有第一连接管，所述第一连接管的进口固定连通有储液箱，所述第一抽泵的出口固定连通有喷液管。本申请真空吸附板通过清洁机构、固定板、第一抽泵、第一连接管、储液箱、进液管、喷液管、第二抽泵、第二连接管和储气箱的配合使用，晶圆在被加工好后，晶圆上会残留切割的碎屑，通过清洁机构可以对晶圆表面的碎屑进行清理，有利于提高晶圆的使用效果，实现对晶圆的清洁。
本实用新型半导体晶圆真空吸附板在权利要求书中公布了：1.半导体晶圆真空吸附板，包括外壳1，其特征在于：所述外壳1的内部设置有可以对晶圆进行清洁的清洁机构2，所述清洁机构2包括与外壳1的内侧固定连接的固定板201，所述固定板201的上表面固定连接有第一抽泵202，所述第一抽泵202的进口固定连通有第一连接管203，所述第一连接管203的进口固定连通有储液箱204，所述第一抽泵202的出口固定连通有喷液管206，所述固定板201的上表面固定连接有第二抽泵207，所述第二抽泵207的进口固定连通有第二连接管208，所述第二连接管208的进口固定连通有储气箱209，所述第二抽泵207的出口固定连通有喷气管210。
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