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龙图腾网获悉深圳职业技术大学申请的专利在线薄膜应力测试仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224121988U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521126333.9，技术领域涉及：G01D21/02；该实用新型在线薄膜应力测试仪是由赵升升;王启民;王红英设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本在线薄膜应力测试仪在说明书摘要公布了：本申请涉及一种在线薄膜应力测试仪，包括设置于第一端的激光发射器、凸透镜、凹透镜和激光光斑位移探测器以及设置于第二端的反射镜、半透镜和待测样品，所述待测样品包括并排设置且厚度不同的第一样品和第二样品，第一样品的第一组悬臂梁和第二样品的第二组悬臂梁的自由端呈等距离缩短，激光发射器发射的一组平行光束经凸透镜会聚再经凹透镜调节成适用间距的平行入射光束到达反射镜，被反射镜向上反射穿过半透镜到达每个悬臂梁下表面的与自由端间距相同的位置处，经每个悬臂梁反射后的反射光束到达半透镜上表面，被半透镜反射到激光光斑位移探测器，由激光光斑位移探测器获取激光光斑的位置信息。该测试仪测试速度快，光路设计合理，测试精度高。

本实用新型在线薄膜应力测试仪在权利要求书中公布了：1.一种在线薄膜应力测试仪，其特征在于，包括设置于第一端的激光发射器、凸透镜、凹透镜和激光光斑位移探测器以及设置于与第一端相对的第二端的反射镜、半透镜和待测样品，其中： 所述激光发射器包括面向第二端水平设置的一排多个激光光源，所述凸透镜位于激光发射器的相对靠近第二端的一侧，所述凹透镜位于凸透镜的相对靠近第二端的一侧，所述激光光斑位移探测器面向第二端设置于激光发射器的上方； 所述反射镜面向第一端的凹透镜倾斜设置，所述半透镜倾斜设置于所述反射镜的上方，所述待测样品位于所述半透镜的上方，包括并排设置且厚度不同的第一样品和第二样品，第一样品设有第一组悬臂梁，第二样品设有第二组悬臂梁，且所述第一组悬臂梁和第二组悬臂梁中每个悬臂梁的固定端在排布方向上位置相同，自由端呈等距离缩短； 所述激光发射器的多个激光光源发射的一组平行光束经凸透镜会聚再经凹透镜调节成适用间距的平行入射光束到达反射镜，被反射镜向上反射穿过半透镜到达所述第一组悬臂梁和第二组悬臂梁中每个悬臂梁下表面的与自由端间距相同的位置处，经每个悬臂梁反射后的反射光束到达半透镜上表面，被半透镜反射到激光光斑位移探测器，由所述激光光斑位移探测器获取相应激光光斑的位置信息。

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