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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所左嘉乐获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于双光路的光栅衍射效率全幅面测量方法及测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121655854B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610174210.5,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权基于双光路的光栅衍射效率全幅面测量方法及测量系统是由左嘉乐;姜岩秀;郑钟铭;孙雨琦;王瑞鹏;杨国军;王新宇设计研发完成,并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

基于双光路的光栅衍射效率全幅面测量方法及测量系统在说明书摘要公布了:本发明涉及精密光学元件检测领域,尤其涉及一种基于双光路的光栅衍射效率全幅面测量方法及测量系统,首先利用标准反射镜模拟利特罗角返回光路,通过测量光探测器分别测量直接反射光强和经分束器衰减后的光强,计算得到用于校正分束器二次衰减的反向分束比。在此基础上,进行正向分束比标定,并在利特罗角下同步采集参考光强与衍射光强,通过结合两项标定参数与实时测量数据,可精确计算光栅在利特罗配置下的衍射效率。为实现全幅面测量,将光栅置于二维平移台上进行蛇形扫描,由控制单元协调运动与数据采集,最后通过数据处理生成衍射效率分布图。本发明有效消除了利特罗测量中的系统误差,实现了全幅面、高效率、高精度的自动化检测。

本发明授权基于双光路的光栅衍射效率全幅面测量方法及测量系统在权利要求书中公布了:1.一种基于双光路的光栅衍射效率全幅面测量系统,其特征在于,包括: 光源,用于发出光束; 分束器,用于将光源发出的光束分为参考光和测量光; 参考光探测器,用于采集参考光的光强; 精密旋转台,用于承载并调整待测光栅的入射角; 二维精密位移台,用于承载精密旋转台及其上的待测光栅并在二维平面内移动; 测量光探测器,当测量光探测器放置在待测光栅的衍射方向时,用于采集测量光经待测光栅衍射后产生的特定级次衍射光的光强;当测量光探测器放置在待测光栅与分束器之间的位置时,用于采集测量光的入射光强; 控制单元,用于控制精密旋转台的转动与二维精密位移台的运动、同步触发参考光探测器与测量光探测器的光强采集; 数据处理单元,用于根据测量光探测器、参考光探测器采集的光强计算待测光栅的衍射效率; 标准反射镜,其设置在分束器与光源之间,先将标准反射镜调整至反射光与测量光重合,使反射光被分束器反射,通过移动测量光探测器的位置,采集经分束器衰减的反射光的光强;再旋转标准反射镜,使反射光不经过分束器,通过移动测量光探测器的位置,采集未经分束器衰减的反射光的光强。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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