北京大学史田田获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种基于MEMS原子气室的芯片主动光钟及其实现方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117761997B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311681133.5,技术领域涉及:G04F5/14;该发明授权一种基于MEMS原子气室的芯片主动光钟及其实现方法是由史田田;陈景标;魏苏阳;王玮设计研发完成,并于2023-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS原子气室的芯片主动光钟及其实现方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于MEMS原子气室的芯片主动光钟及其实现方法。本发明通过激光对MEMS原子气室中的增益介质进行泵浦,建立布居数反转,通过谐振腔的腔反馈,使自发辐射不断放大达到激光阈值后输出主动激射信号。由于产生主动激射信号的谐振腔是坏腔,其增益线宽远小于腔模线宽,能大大抑制腔牵引效应带来的噪声,输出激光可直接作为光频标信号使用,无需伺服电路来稳定谐振腔腔长,减小了系统的体积和功耗。同时以MEMS原子气室作为核心部件,各个光电元器件以堆叠方式组装并集成于硅基芯片上,结合芯片微腔光梳进行频率下转换,实现窄线宽、高稳定度的芯片主动光钟。本发明为主动光钟在小型化、便携式时频设备中的部署提供新途径。
本发明授权一种基于MEMS原子气室的芯片主动光钟及其实现方法在权利要求书中公布了:1.一种基于MEMS原子气室的芯片主动光钟,其特征在于,包括泵浦激光器1、饱和吸收谱稳频模块、谐振腔、第二MEMS原子气室8、微腔光梳10、偏振分光棱镜11、第二薄膜光电探测器12和数字频率计数器13; 所述第二MEMS原子气室8位于所述谐振腔内; 所述泵浦激光器1,用于输出泵浦光对所述第二MEMS原子气室8内的增益介质进行泵浦,先将所述增益介质的低能级上的粒子泵浦到高能级上,再通过自发辐射,实现目标跃迁能级上的粒子布居数反转;其中根据主动光钟的目标波长确定增益介质及目标跃迁能级,用于目标跃迁能级粒子布居数反转后产生自发辐射时产生所述目标波长的荧光信号,并通过所述谐振腔放大后产生所述目标波长的受激辐射信号,作为所述芯片主动光钟的光频标信号输出; 所述饱和吸收谱稳频模块,用于对所述泵浦激光器1输出的泵浦光频率进行稳定; 所述微腔光梳10,用于产生梳齿光信号; 所述偏振分光棱镜11,用于对所述光频标信号与所述梳齿光信号进行合束,产生拍频光信号; 所述第二薄膜光电探测器12,用于接收拍频光信号并将其转换为拍频电信号; 所述数字频率计数器13,用于测量所述拍频电信号并进行处理输出时钟信号,实现芯片主动光钟; 所述饱和吸收谱稳频模块包括激光控制器2、光束调节装置、第一薄膜光电探测器5、第一MEMS原子气室6和部分反射镜7; 所述激光控制器2,用于根据接收的饱和吸收谱电信号控制所述泵浦激光器1的输出频率; 所述光束调节装置,用于对所述泵浦激光器1输出的泵浦光功率进行调节并输入至第一MEMS原子气室6,以及将接收的饱和吸收谱光信号输入至第一薄膜光电探测器5; 所述第一薄膜光电探测器5,用于将饱和吸收谱光信号转换为电信号,传输至激光控制器2; 所述部分反射镜7将第一MEMS原子气室6输出的光部分反射回第一MEMS原子气室6,在第一MEMS原子气室6中,两束相向传播的激光与原子相互作用,形成饱和吸收谱光信号,并通过光束调节装置输入至第一薄膜光电探测器5。
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