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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备和数据变化确定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115376962B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210540188.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理设备和数据变化确定方法是由丘基星设计研发完成，并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理设备和数据变化确定方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：至少一个传感器，所述至少一个传感器被配置为在所述基板的所述处理的过程中测量所述基板或所述设备的状况；数据收集单元，所述数据收集单元被配置为按时间序列收集由所述传感器测量的数据；以及数据处理单元，所述数据处理单元被配置为学习由所述数据收集单元收集的所述数据以检测由所述传感器测量的当前数据的变化。所述数据处理单元包括：数据学习单元，所述数据学习单元被配置为使用孪生网络来学习由所述数据收集单元收集的过去的数据；以及数据检查单元，所述数据检查单元被配置为基于所学习的数据来检测所述当前数据是否已经发生问题。

本发明授权基板处理设备和数据变化确定方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，其包括： 至少一个传感器，所述至少一个传感器被配置为在所述基板的所述处理的过程中测量所述基板或所述设备的状况； 数据收集单元，所述数据收集单元被配置为按时间序列收集由所述传感器测量的数据；以及 数据处理单元，所述数据处理单元被配置为学习由所述数据收集单元收集的所述数据以检测由所述传感器测量的当前数据的变化， 其中所述数据处理单元包括： 数据学习单元，所述数据学习单元被配置为使用孪生网络来学习由所述数据收集单元收集的过去的数据；以及 数据检查单元，所述数据检查单元被配置为基于所学习的数据来检测所述当前数据是否已经发生问题， 其中所述数据收集单元收集在问题之前的第一数据和在所述问题之后的第二数据，并且 所述数据学习单元使用所述孪生网络来学习所述第一数据和所述第二数据，并且学习与所述问题相关的数据是否相同以及是否已经发生变化， 其中所述数据学习单元将所述第一数据中的任一个设置为参考值，并且通过将除了所述第一数据中的所述任一个以外的另一个第一数据与所述参考值之间的关系设置为0并将所述参考值与所述第二数据之间的关系设置为1来进行学习。

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