北京航天微电科技有限公司于海洋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航天微电科技有限公司申请的专利一种底电极激发式声表面波器件结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115296639B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211053125.1，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权一种底电极激发式声表面波器件结构是由于海洋;康绍峥;张倩;倪烨;李希雯;周培根设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种底电极激发式声表面波器件结构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种底电极激发式声表面波器件结构，包括支撑衬底层、绝缘层和压电材料层；所述支撑衬底层上设置有所述绝缘层，所述绝缘层的厚度小于所述支撑衬底层的厚度，所述压电材料层设置于所述绝缘层上，所述绝缘层内间隔设置有叉指换能器结构和输入输出电极结构，且所述输入输出电极结构连接端延伸出所述压电材料层或所述支撑衬底层并形成焊球或者焊点，所述焊球或者焊点位于所述支撑衬底层表面或压电材料层表面。本发明能有效的减少声表面波器件受到外部环境的影响，也可实现温补作用以控制器件的温漂在合适范围内，此外，相关器件在Q值也有大幅提升并适用于硅基半导体加工工艺。
本发明授权一种底电极激发式声表面波器件结构在权利要求书中公布了：1.一种底电极激发式声表面波器件结构，其特征在于：包括支撑衬底层10、绝缘层30和压电材料层40； 所述支撑衬底层10上设置有所述绝缘层30，所述绝缘层30的厚度小于所述支撑衬底层10的厚度，所述压电材料层40设置于所述绝缘层30上，所述绝缘层30内间隔设置有叉指换能器结构50和输入输出电极结构51，所述绝缘层30内间隔设置有叉指换能器结构50和输入输出电极结构51，所述叉指换能器结构50被所述绝缘层30和所述压电材料层40从上下两侧包裹，且所述输入输出电极结构51连接端延伸出所述压电材料层40或所述支撑衬底层10外并形成焊球或者焊点80，所述焊球或者焊点80位于所述支撑衬底层10表面或压电材料层40表面。
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