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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115134266B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210609957.0，技术领域涉及：H04L43/08；该发明授权数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备是由陆涛设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备，应用于半导体装备技术领域，该数据上传方法包括：对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；在与上位机通信故障时，存储监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与上位机通信恢复正常后，向上位机广播发送历史监测信息；在向上位机广播发送历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向上位机发送当前监测信息；在与上位机之间通信正常时，按预设的时间间隔，向上位机发送当前监测信息。上述方案在避免监测信息中断的同时，可以避免在发送监测信息的过程中，等待上位机发送的反馈信息，从而可以提高通信效率。

本发明授权数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种数据上传方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备中的下位机，所述下位机用于控制所述半导体工艺设备中的各个模块动作，所述下位机与所述半导体工艺设备中的上位机通信连接；所述方法包括： 对预先确定的所述半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；所述监测目标是所述半导体工艺设备的设备状态，或者所述半导体工艺设备的作业状态，或者所述半导体工艺设备的工艺控制数据；所述半导体工艺设备设置有工艺腔室，所述工艺腔室上设置有阀门，所述设备状态是腔室门的开关状态和阀门的开关状态；所述作业状态是所述下位机在接收到所述上位机发送的控制任务之后，控制任务的执行结果；所述工艺控制数据是先进工艺控制过程的相关信息； 在与所述上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息，包括： 设置所述作业状态和所述工艺控制数据的优先级为第一优先级，所述设备状态的优先级为第二优先级； 在与所述上位机之间通信故障的情况下，确定所述第一优先级为目标级别，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息； 在与所述上位机之间通信恢复正常后，向所述上位机广播发送所述历史监测信息；在向所述上位机广播发送所述历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息； 在与所述上位机之间通信正常的情况下，按所述时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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