华南理工大学李国强获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种FBAR滤波器及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114696775B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210294318.X,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权一种FBAR滤波器及其制备方法和应用是由李国强;胡晗;李陈阳;罗添友;张铁林设计研发完成,并于2022-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种FBAR滤波器及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种FBAR滤波器及其制备方法和应用。本发明的FBAR滤波器的组成包括多面体形的支撑衬底和设置在支撑衬底至少两个面上的至少两个体声波滤波器,体声波滤波器的组成包括支撑层、底电极、压电层和顶电极,底电极和顶电极均为图形化的电极,且分别设置在压电层的两面,体声波滤波器中的支撑层、压电层和底电极与支撑衬底共同构成的空腔为空气腔体。本发明的FBAR滤波器将可以接收各种频率范围的体声波滤波器集成在同一片衬底上,缩小了FBAR滤波器的面积和体积,降低了FBAR滤波器的制作成本,适合进行大规模推广应用。
本发明授权一种FBAR滤波器及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种FBAR滤波器,其特征在于,组成包括长方体形的支撑衬底和设置在支撑衬底六个面上的六个体声波滤波器;所述体声波滤波器的组成包括支撑层、底电极、压电层和顶电极;所述底电极和顶电极均为图形化的电极,且分别设置在压电层的两面;所述体声波滤波器中的支撑层、压电层和底电极与支撑衬底共同构成的空腔为空气腔体。
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