普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司雷剑锋获国家专利权
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龙图腾网获悉普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司申请的专利一种四探针电阻率测试仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224109548U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520786467.7，技术领域涉及：G01R27/02；该实用新型一种四探针电阻率测试仪是由雷剑锋;郝瑞设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种四探针电阻率测试仪在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了一种四探针电阻率测试仪，包括有底座和设置在其顶部一侧的支撑架，所述支撑架的一侧顶部设置有第一驱动件，所述第一驱动件通过升降连接件连接有检测模块，所述第一驱动件能够驱动检测模块沿Z轴方向移动，所述检测模块的底部设置有检测探头，所述底座的顶部设置有第二驱动件，所述第二驱动件的顶部设置有第三驱动件，所述第三驱动件的顶部设置有载台，所述第二驱动件能够驱动第三驱动件和载台沿Y轴方向移动，所述第三驱动件能够驱动载台旋转。实现了检测探头与晶圆的自动对位，避免人为操作误差，提升测量准确性，同时采用柔性夹块配合偏心手柄的挤压式固定结构，可实现检测探头的快速拆装，便于后期维护。
本实用新型一种四探针电阻率测试仪在权利要求书中公布了：1.一种四探针电阻率测试仪，其特征在于：包括有底座1和设置在其顶部一侧的支撑架2，所述支撑架2的一侧顶部设置有第一驱动件3，所述第一驱动件3通过升降连接件连接有检测模块4，所述第一驱动件3能够驱动检测模块4沿Z轴方向移动，所述检测模块4的底部设置有检测探头9，所述底座1的顶部设置有第二驱动件5，所述第二驱动件5的顶部设置有第三驱动件6，所述第三驱动件6的顶部设置有载台7，所述第二驱动件5能够驱动第三驱动件6和载台7沿Y轴方向移动，所述第三驱动件6能够驱动载台7旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司，其通讯地址为：215299 江苏省苏州市吴江区益和路268号武珞科技产业园1幢1003室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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