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龙图腾网获悉厦门钧摩芯半导体有限公司申请的专利一种半导体废气燃烧器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224108212U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520555098.0，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型一种半导体废气燃烧器是由白晓锌;彭认清;蔡项勉;陈瑞勇;陈志达设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体废气燃烧器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体废气燃烧器，包括底柜，底柜上方中心处设置有燃烧器主体，燃烧器主体顶部连接有混合器，混合器通过第一管道连接有除尘器，所述除尘器内部设有竖直的内管，内管底部开口，所述底柜位于除尘器底部开口下方设置有集尘器，内管顶部与第一管道连通，除尘器内部位于内管外侧区域设有螺旋叶片，除尘器位于螺旋叶片顶部的侧壁上设置有进气管，螺旋叶片上设有粗糙纹，所述内管上设置有气体预热结构。本实用新型提供了一种半导体废气燃烧器，有利于解决目前一些半导体制程废气燃烧器未配置颗粒杂质拦截结构，进而因颗粒物烧结粘黏在燃烧器内壁上，影响气体流动和加速燃烧器结构磨损的问题。

本实用新型一种半导体废气燃烧器在权利要求书中公布了：1.一种半导体废气燃烧器，其特征在于，包括底柜，底柜上方中心处设置有燃烧器主体，燃烧器主体内部设有燃烧室，燃烧室顶部设有点火器，燃烧器主体顶部连接有上窄下宽中空锥台结构的混合器，混合器顶部中心位置通过第一管道连接有除尘器，混合器顶部与第一管道连接处外围均匀设置有若干补充气管，混合器底部通过若干均匀环设于点火器外围的匀气管与燃烧室连通，所述除尘器内部设有竖直的内管，内管底部开口，所述底柜位于除尘器底部开口下方设置有集尘器，内管顶部与第一管道连通，除尘器内部位于内管外侧区域设有螺旋叶片，螺旋叶片的横向外侧端与除尘器内侧壁连接，除尘器位于螺旋叶片顶部的侧壁上设置有用于连接外部半导体废气管路的进气管，螺旋叶片上设有粗糙纹，半导体废气经所述进气管进入除尘器后，能够沿螺旋叶片螺旋下行，后经内筒底部开口进入内筒后上行借由第一管道进入燃烧器主体，构成螺旋迂回的气流路径结构，所述内管上设置有气体预热结构。

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