细美事有限公司李善廉获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置和用于处理基板的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649186B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111572170.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法是由李善廉;张龙守;梁廷允;林仁诚;田承训设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在说明书摘要公布了：公开了一种微波施加单元，其用于施加微波以产生等离子体。微波施加单元包括天线板，其设置在支撑单元上并具有多个狭孔；电源，其被配置为向天线板施加微波；介电板，其设置在天线板上方以面对天线板；上板，其设置在介电板上方；和透射板，其设置在天线板下方并被配置为将微波传输至处理空间，其中，在上板的下表面上形成用于调节电场的调节凹槽。
本发明授权用于处理基板的装置和用于处理基板的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，包括： 处理室，所述处理室被配置为在其中具有处理空间； 支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理室中支撑所述基板； 气体供应单元，所述气体供应单元被配置为向所述处理空间供应处理气体；和 微波施加单元，所述微波施加单元被配置为从供应至所述处理空间的所述处理气体产生等离子体， 其中所述微波施加单元包括： 透射板，所述透射板被配置为将微波传输至所述处理空间； 天线板，所述天线板设置在所述透射板上并具有多个狭孔； 电源，所述电源被配置为向所述天线板施加所述微波； 介电板，所述介电板设置在所述天线板上方以面对所述天线板； 上板，所述上板设置在所述介电板上方， 其中，所述多个狭孔被布置为围绕所述天线板的中心形成多个环， 其中，在所述上板的下表面上形成有调节凹槽，所述调节凹槽被配置为调节电场并设置多个调节凹槽， 其中，所述多个调节凹槽设置在面对形成在所述天线板中的所述多个狭孔的区域中，并且当俯视时，以环绕所述天线板的中心的环形形状设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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