三星显示有限公司柳成龙获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利气相沉积设备和气相沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113737150B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110586355.3，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权气相沉积设备和气相沉积方法是由柳成龙;金京汉;劝炯斗;郑钟桓;崔庆五;崔承浩设计研发完成，并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相沉积设备和气相沉积方法在说明书摘要公布了：本公开涉及气相沉积设备和气相沉积方法。所述气相沉积设备包括：载体，在所述载体上安置有基底；沉积腔室，在所述沉积腔室中执行用于将沉积材料沉积到所述基底的沉积工艺；第二腔室，在所述第二腔室中搬运所述载体，在所述载体上安置有完成了所述沉积工艺的所述基底；以及第一腔室，包括机械臂，所述机械臂在真空状态下将完成了所述沉积工艺的所述基底与所述载体分离开以从所述第二腔室传送到所述第一腔室，其中，所述第二腔室始终保持真空状态。
本发明授权气相沉积设备和气相沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，其中，所述气相沉积设备包括： 载体，在所述载体上安置有基底； 沉积腔室，在所述沉积腔室中执行用于将沉积材料沉积到所述基底的沉积工艺； 第二腔室，在所述第二腔室中搬运所述载体，在所述载体上安置有完成了所述沉积工艺的所述基底； 第一腔室，包括机械臂，所述机械臂在真空状态下将完成了所述沉积工艺的所述基底与所述载体分离开以从所述第二腔室传送到所述第一腔室，以及 旋转腔室，处于真空状态，所述旋转腔室设置在所述沉积腔室与所述第二腔室之间，并且将其上载有新的基底的所述载体插入到所述沉积腔室以及将其上安置有完成了所述沉积工艺的所述基底的所述载体搬出到所述第二腔室， 其中，所述第二腔室始终保持真空状态。
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