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龙图腾网获悉威欣系统股份有限公司申请的专利用于FOUP的检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224095149U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520865683.0，技术领域涉及：G01B21/32；该实用新型用于FOUP的检测设备是由黄泳钊;谢旻浩;许志豪;郭金柱设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于FOUP的检测设备在说明书摘要公布了：一种用于FOUP的检测设备，包含安装在壳体机构的调移机构、多个安装在调移机构的第一测距传感器，及控制装置。调移机构可被控制装置控制以传动所述第一测距传感器移入FOUP的盒本体中。所述第一测距传感器会朝盒本体的左右两侧壁进行测距以产生第一测距讯号。控制装置可分析所述第一测距讯号以得到盒本体的形变量。通过调移机构可带动所述第一测距传感器移入盒本体中，而对盒本体的左右两侧壁进行测距的结构设计，以及控制装置会分析所述第一测距传感器的所述第一测距讯号，而得到盒本体形变量的设计，确实可用于准确量测取得所述盒本体的形变量。

本实用新型用于FOUP的检测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于FOUP的检测设备，适用于对所述FOUP的盒本体进行形变量检测，所述检测设备包含壳体机构，所述壳体机构具有用于供所述盒本体以开口朝前的方式往下放置的承载台面，其特征在于：所述检测设备还包含安装在所述壳体机构的调移机构、多个安装在所述调移机构的第一测距传感器，及控制装置，所述调移机构包括安装在所述壳体机构的调移模块，及设置在所述调移模块上的安装架，所述调移模块能被控制以传动所述安装架往后位移插入被放置在所述承载台面的所述盒本体中，所述第一测距传感器安装在所述安装架的左右两侧，并能被所述安装架带动移入所述盒本体中，所述第一测距传感器会朝所述盒本体的左侧壁与右侧壁的多个不同部位进行测距，而分别产生第一测距讯号，所述控制装置讯号连接所述调移模块与所述第一测距传感器，所述控制装置包括量测控制模块及形变量分析模块，所述量测控制模块能控制所述调移模块传动所述安装架移入所述盒本体中的距离，并能控制所述第一测距传感器对所述盒本体进行测距，所述形变量分析模块能分析所述第一测距讯号以得到对应所述盒本体的形变量。

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