恩斯麦尔(苏州)科技有限公司罗时磊获国家专利权
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龙图腾网获悉恩斯麦尔(苏州)科技有限公司申请的专利一种能够自动测量晶圆厚度设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224095107U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520877246.0,技术领域涉及:G01B11/06;该实用新型一种能够自动测量晶圆厚度设备是由罗时磊;杨金堂;张春;王春;萧麟设计研发完成,并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能够自动测量晶圆厚度设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆厚度测量领域,尤其涉及一种能够自动测量晶圆厚度设备。本实用新型提供一种能够自动对晶圆片进行快速切换,便于对晶圆片进行快速检测能够自动测量晶圆厚度设备。一种能够自动测量晶圆厚度设备,包括有机架、防护罩和第一支撑架等,机架上侧连接有防护罩,机架左前部上侧连接有第一支撑架。本实用新型通过第一伺服电机带动旋转台旋转,使得晶圆片位于检测头下方,再通过丝杆旋转带动检测台向下移动,通过检测头进行检测,达到了能够自动对晶圆片进行快速切换,便于对晶圆片进行快速检测的效果。
本实用新型一种能够自动测量晶圆厚度设备在权利要求书中公布了:1.一种能够自动测量晶圆厚度设备,其特征在于,包括有机架1、防护罩2、第一支撑架3、CCD31、第二支撑架9、第二伺服电机10、丝杆11、检测台12、旋转组件和切换组件,机架1上侧连接有防护罩2,机架1左前部上侧连接有第一支撑架3,第一支撑架3上部连接有CCD31,机架1后部上侧连接有第二支撑架9,第二支撑架9上侧连接有第二伺服电机10,第二伺服电机10输出轴上连接有丝杆11,丝杆11与第二支撑架9转动式相连接,丝杆11上螺纹式连接有检测台12,检测台12与第二支撑架9相连接,机架1中部设有能够进行快速切换的旋转组件,检测台12上设有能够根据晶圆片8尺寸切换测量位置的切换组件。
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