安徽量伙半导体有限公司吴云鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽量伙半导体有限公司申请的专利一种RTP退火炉灯管温度实时监测管理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224094951U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520598985.6,技术领域涉及:F27D21/00;该实用新型一种RTP退火炉灯管温度实时监测管理系统是由吴云鹏;汪知昱;王玉冰;余云龙设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种RTP退火炉灯管温度实时监测管理系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种RTP退火炉灯管温度实时监测管理系统,涉及退火炉灯管监测技术领域,本实用新型通过温度检测模块均匀地安装在退火炉内,检测退火炉灯管不同位置的温度,温度差异模块根据的电压信号,通过筛选最大电压信号与最小电压信号,判断灯管温度分布的是否异常,并发送温度异常信号,电流检测模块检测退火炉灯管的电流信号,并发送电流异常信号,故障检测模块根据温度异常信号与电流异常信号转换为故障脉冲信号,故障计数模块对故障脉冲信号在周期时间内进行累计次数,并把累计的次数的结果分阶段发送阶段预警信号至预警模块显示退火炉灯管的监测结果。
本实用新型一种RTP退火炉灯管温度实时监测管理系统在权利要求书中公布了:1.一种RTP退火炉灯管温度实时监测管理系统,其特征在于: 温度检测模块10,所述温度检测模块10包括5个温度检测仪,均匀地安装在退火炉内,与温度差异模块20电性连接,用于检测退火炉灯管不同位置的温度,并转换为电压信号发送至温度差异模块20; 温度差异模块20,所述温度差异模块20与故障检测模块40电性连接,用于根据接收温度检测模块10发送的电压信号,通过筛选最大电压信号与最小电压信号,判断灯管温度分布的是否异常,并发送温度异常信号至故障检测模块40; 电流检测模块30,所述电流检测模块30与故障检测模块40电性连接,安装在退火炉灯管的电源电缆上,用于检测退火炉灯管的电流信号,并发送电流异常信号至故障检测模块40; 故障检测模块40,所述故障检测模块40与故障计数模块50电性连接,用于对接收到的温度异常信号与电流异常信号进行检测,并把检测的结果转换为故障脉冲信号发送至故障计数模块50; 故障计数模块50,所述故障计数模块50与预警模块70电性连接,用于对故障脉冲信号在周期时间内进行累计次数,并把累计的次数的结果分阶段发送阶段预警信号至预警模块70; 周期调整模块60,所述周期调整模块60与故障计数模块50电性连接,用于产生周期时间信号发送至故障计数模块50; 预警模块70,所述预警模块70用于阶段预警信号显示不同的预警信号,显示退火炉灯管的监测结果。
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