芯联集成电路制造股份有限公司王明军获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利送气装置及炉体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224094932U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520743084.1，技术领域涉及：F27D7/02；该实用新型送气装置及炉体设备是由王明军;秦永星;陈双露;秦岩设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本送气装置及炉体设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种送气装置及炉体设备，送气装置包括送气组件；所述送气组件内具有送气流道，所述送气流道具有进气端；所述送气组件上设置有多个与所述送气流道连通的气孔，各所述气孔沿第一方向等距排列设置；各所述气孔至少分为第一气孔组和第二气孔组；所述第一气孔组中，靠近所述进气端的气孔的孔径小于至少一部分远离所述进气端的气孔的孔径；所述第二气孔组中，靠近所述进气端的气孔的孔径小于至少一部分远离所述进气端的气孔的孔径。该送气装置有助于改善异常应力分布的现象。
本实用新型送气装置及炉体设备在权利要求书中公布了：1.一种送气装置，其特征在于，包括：送气组件； 所述送气组件内具有送气流道，所述送气流道具有进气端； 所述送气组件上设置有多个与所述送气流道连通的气孔，各所述气孔至少分为第一气孔组和第二气孔组； 所述第一气孔组中各所述气孔沿第一方向等距排列设置，所述第二气孔组中各所述气孔沿第一方向等距排列设置； 所述第一气孔组中，沿着所述送气流道的走向方向，靠近所述进气端的气孔的孔径小于至少一部分远离所述进气端的气孔的孔径；所述第二气孔组中，沿着所述送气流道的走向方向，靠近所述进气端的气孔的孔径小于至少一部分远离所述进气端的气孔的孔径。
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