苏州芯矽电子科技有限公司陈令获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州芯矽电子科技有限公司申请的专利晶圆高洁净干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224094760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520828227.9，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型晶圆高洁净干燥装置是由陈令;李佳森;张涛;张少阳;陈晨设计研发完成，并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆高洁净干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种晶圆高洁净干燥装置，包括支板以及固设在其上的壳体，所述壳体内开设有收容槽，所述收容槽内置有石英槽，所述石英槽的内壁上开设有用以将晶圆定位的定位槽；所述石英槽的顶端固设有氮气管道，所述氮气管道位于石英槽的两侧，且其上开设有一组面向所述抽风孔的排气口；所述石英槽的底部开设有一组抽风孔；所述壳体上还枢轴设有密封板，所述密封板相互配合可将所述石英槽的顶部密封。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，氮气气流较为均匀地吹向晶圆，并在晶圆表面形成一个均匀的大气流，有助于保证晶圆干燥的均匀性，防止在晶圆表面形成水斑，有效提高晶圆清洗后的干燥效率和质量。
本实用新型晶圆高洁净干燥装置在权利要求书中公布了：1.晶圆高洁净干燥装置，包括支板1以及固设在其上的壳体2，其特征在于：所述壳体2内开设有收容槽21，所述收容槽21内置有石英槽4，所述石英槽4的内壁上开设有用以将晶圆定位的定位槽；所述石英槽4的顶端固设有氮气管道5，所述氮气管道5位于石英槽4的两侧，且其上开设有一组面向所述石英槽4的底部的抽风孔41的排气口6；所述壳体2上还枢轴设有密封板3，所述密封板3相互配合可将所述石英槽4的顶部密封。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯矽电子科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励