苏州芯矽电子科技有限公司李佳森获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯矽电子科技有限公司申请的专利晶圆高效高安全性干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224094759U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520828222.6，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型晶圆高效高安全性干燥装置是由李佳森;欧赵旺;张少阳;陈晨设计研发完成，并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆高效高安全性干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种晶圆高效高安全性干燥装置，包括箱体以及开设在其内的收容腔，收容腔内固设有加热板，加热板的一侧设有设置在箱体上用以与IPA溶剂连通的进液喷头；加热板的上方设有脱水盘，脱水盘的正上方设有固设在箱体上的冷凝组件，箱体上设有可将提篮夹持移载至脱水盘和冷凝组件之间的移载组件；冷凝组件的正下方设有用以将冷凝水收集的集水板，箱体的顶部设有对称且枢轴设置在盖板，每一盖板上均固设有一弧形导流板；本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，导流板的弧形设计，可对冷却后的IPA溶剂液体进行导向引流，避免IPA溶剂液体滴落晶圆上，杜绝导流板和盖板在高温下释放金属离子而污染晶圆的情况发生，提高良品率。
本实用新型晶圆高效高安全性干燥装置在权利要求书中公布了：1.晶圆高效高安全性干燥装置，包括箱体1以及开设在其内的收容腔11，所述收容腔11内固设有加热板3，所述加热板3的一侧设有设置在所述箱体1上用以与IPA溶剂连通的进液喷头31；所述加热板3的上方设有脱水盘4，所述脱水盘4的正上方设有固设在所述箱体1上的冷凝组件5，所述箱体1上设有可将提篮100夹持移载至所述脱水盘4和冷凝组件5之间的移载组件2；其特征在于：所述冷凝组件5的正下方设有用以将冷凝水收集的集水板7，所述箱体1的顶部设有对称且枢轴设置的盖板8，所述盖板8可在驱动组件的驱动下使两者处于同一平面将所述收容腔11相对密封，每一所述盖板8上均固设有一弧形导流板9；当所述盖板8处于同一平面时，所述导流板9的内壁相互紧贴，所述导流板9的外壁位于所述导流板9的内壁的下方，且所述导流板9的外壁位于所述集水板7的正上方。
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