无锡互创芯微半导体科技有限公司李仙获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡互创芯微半导体科技有限公司申请的专利一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224088840U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520538632.7,技术领域涉及:B25B11/00;该实用新型一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具是由李仙;肖明设计研发完成,并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具,其包括底板,底板的上表面固定连接有支撑架,支撑架的上表面固定连接有伸缩杆,伸缩杆的一端通过端接头转动连接有外接盘,外接盘的内部固定连接有电动机,电动机的输出端固定连接有搭接盘,搭接盘的上表面转动连接有内接盘,内接盘的内部设置有夹固机构,夹固机构包括卡块与弹性件。通过上述结构,通过对内接盘转动,使得多个卡块进行定点转动,然后进行张开,对静电吸附放置好后,松开内接盘,通过弹性件的作用,多个卡块向内对静电吸盘机进行快速夹固,当需要对静电吸盘背部进行修理时,通过电动机带动搭接盘使得内接盘内的静电吸盘得以快速翻转。
本实用新型一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具,其特征在于,包括:底板1,所述底板1的上表面固定连接有支撑架2,所述支撑架2的上表面固定连接有伸缩杆3,所述伸缩杆3远离支撑架2的一端固定连接有端接头4,所述端接头4的外部转动连接有外接盘5,所述外接盘5的内部固定连接有电动机10,所述电动机10的输出端固定连接有搭接盘15,所述搭接盘15的上表面转动连接有内接盘11,所述内接盘11的内部设置有夹固机构; 气缸6,所述气缸6的底部转动连接有第一凹接块7,所述第一凹接块7的下表面与底板1固定连接,所述气缸6的输出端固定连接有外套块9,所述外套块9的外部转动连接有第二凹接块8,所述第二凹接块8的侧表面与外接盘5固定连接。
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