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龙图腾网获悉宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利一种抛光垫修整清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224088783U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520943410.3，技术领域涉及：B24B53/017；该实用新型一种抛光垫修整清洗装置是由万先进;何红秀;尤国振;熊泰贻;李合景;胡元祥;郭小亚设计研发完成，并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抛光垫修整清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，公开一种抛光垫修整清洗装置，包括修整单元和清洗单元。修整单元包括第一底板、修整组件和喷水组件，修整组件沿竖向可移动地设置于第一底板上，修整组件具有与抛光垫接触的修整状态和远离抛光垫的分离状态。喷水组件包括相互连通的容纳箱和第一喷射件，容纳箱内储存有清洗水，第一喷射件设置于第一底板上。清洗单元包括第二底板、清扫组件和第二喷射件，第二底板沿X方向可移动地设置于第一底板上，清扫组件沿竖向可移动地设置于第二底板上。第二喷射件设置于第二底板上，且与供气设备和容纳箱连通，第二喷射件能够向抛光垫喷射水雾。该抛光垫修整清洗装置可以对抛光垫均匀清扫，保证抛光垫的修整效果。

本实用新型一种抛光垫修整清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光垫修整清洗装置，其特征在于，包括： 修整单元1，包括第一底板11、修整组件12和喷水组件，所述修整组件12沿竖向可移动地设置于所述第一底板11上，所述修整组件12被配置为用于修整抛光垫100，所述抛光垫100绕竖向可转动地设置于所述修整组件12的上方，所述修整组件12具有与所述抛光垫100接触的修整状态和远离所述抛光垫100的分离状态，所述喷水组件包括相互连通的容纳箱和第一喷射件131，所述容纳箱内储存有清洗水，所述第一喷射件131设置于所述第一底板11上，用于向所述抛光垫100喷射水流； 清洗单元2，包括第二底板21、清扫组件22和第二喷射件23，所述第二底板21沿X方向可移动地设置于所述第一底板11上，所述清扫组件22沿竖向可移动地设置于所述第二底板21上，所述清扫组件22具有与所述抛光垫100平行接触的清扫状态，所述第二喷射件23设置于所述第二底板21上，所述第二喷射件23被配置为与供气设备和所述容纳箱连通，所述第二喷射件23能够向所述抛光垫100喷射水雾。

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