北京晶亦精微科技股份有限公司杨宽获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种化学机械平坦化设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224088700U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520675709.5，技术领域涉及：B24B27/00；该实用新型一种化学机械平坦化设备是由杨宽;刘永进;周庆亚;杨建臣设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械平坦化设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种化学机械平坦化设备，涉及半导体设备技术领域。该化学机械平坦化设备包括：至少一个平坦化模块；平坦化模块包括清洗单元和研磨单元；清洗单元内第一排工位包括传导工位、缓冲工位和暂存工位；第二排工位包括清洗工位、笔刷刷洗工位和干燥工位；传导工位用于接收待处理晶圆；缓冲工位用于放置等待传输至暂存工位的待处理晶圆和清洗工位清洗后的晶圆；暂存工位用于放置等待研磨的待处理晶圆和研磨完成的晶圆；研磨单元用于对送入的待处理晶圆进行研磨；清洗工位用于对研磨完成的晶圆进行清洗；笔刷刷洗工位用于对从缓冲工位传输的清洗后的晶圆进行刷洗；干燥工位用于对刷洗后的晶圆进行干燥。本实用新型能够提高晶圆的处理效率。
本实用新型一种化学机械平坦化设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械平坦化设备，其特征在于，包括至少一个平坦化模块；所述平坦化模块包括清洗单元和研磨单元； 所述清洗单元内设置有两排工位；一排工位包括依次排列的传导工位、缓冲工位和暂存工位；另一排工位包括依次排列的清洗工位、笔刷刷洗工位和干燥工位；其中，所述传导工位和所述干燥工位设置在远离所述研磨单元的一侧，所述暂存工位和清洗工位设置在靠近所述研磨单元的一侧； 所述传导工位用于接收待处理晶圆；所述缓冲工位用于放置等待传输至所述暂存工位的待处理晶圆和所述清洗工位清洗后的晶圆；所述暂存工位用于放置等待研磨的待处理晶圆和研磨完成的晶圆； 所述研磨单元用于对送入的待处理晶圆进行研磨； 所述清洗工位用于对研磨完成的晶圆进行清洗；所述笔刷刷洗工位用于对从缓冲工位传输的清洗后的晶圆进行刷洗；所述干燥工位用于对刷洗后的晶圆进行干燥。
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